蔡司:与ASML技术蓝图已规划至2040年!

湾芯展 2026-08-05 18:08



ZEISS蔡司将亮相湾芯展


2026湾芯展将于10月14-16日在深圳会展中心(福田)盛大举办,届时ZEISS蔡司将亮相展会现场,诚邀产业同仁莅临交流!



8月3日消息,根据彭博社报道,光刻机大厂ASML供应商——德国蔡司集团(Zeiss Group)半导体事业部负责人Frank Rohmund近日在接受彭博社采访时反驳市场对AI供应链瓶颈的疑虑,并表示有信心具备足够产能,可应对持续攀升的需求。


蔡司半导体事业部于7月下旬宣布,将在德国南部的奥伯科亨新增约25,000平方米的生产相关空间,该项目自2022年5月奠基仪式以来,历时四年才实现首座大楼的完工,员工将于本月迁入大楼,剩余建筑将分阶段交付。同时,蔡司也正于另一处园区兴建新工厂,表示若市场需求持续增加,仍有扩产的空间。


Frank Rohmund表示,这些才是真正攸关产能扩充的长期投资。


资料显示,蔡司拥有近180年光学技术历史,其镜头曾协助美国太空总署(NASA)拍摄人类首次登月画面,如今产品涵盖半导体零组件、医疗设备、显微镜及眼镜镜片等多元业务。蔡司半导体事业于1990年代末与ASML建立合作关系,双方共同推动芯片朝向更小、更强大且更节能的方向发展。


奥伯科亨和韦茨拉尔是全球唯一两个可以建造ASML光刻机所需的光学器件的地方。蔡司也是ASML EUV光刻机光学系统的唯一供应商,主要供应透镜、反光镜、照明器、集光器及其他关键光学元件。


特别是High-NA EUV光刻机的光学系统,包含超过4万个投影光学元件,重量约12吨,约是标准EUV光学系统体积和重量的七倍。其中,High-NA EUV照明系统增加了25,000个零件和6吨;单个High NA镜头重达数百公斤,约是现有EUV光镜的2倍大小和10倍重量。


蔡司表示,这些是全世界最精密的镜片模组,以原子级精密度制造,由超过一百层镀膜构成,该镜片模组是High-NA EUV技术的核心。尺寸远大于当前的EUV镜片模组,且制造时间约需一年。

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△High-NA EUV镜片模组


蔡司表示,EUV光刻机内部的反射镜调校精度极高,如果其中一面反射镜将激光光束反射至月球,它的精准度足以击中月球表面的一颗乒乓球。


若要将High-NA EUV系统的镜片放大至与德国相同面积,测量技术就必须能够精确测量到100微米的起伏,这种精密到比原子还精细的测量技术直到如今才出现。因此,蔡司半导体与其战略合作伙伴ASML,在开发High-NA EUV技术的同时,也开发了此测量技术以验证所生产的镜片质量。


据介绍,验证High-NA EUV光学系统还需要一个专门建造的真空舱,尺寸为5米×10米,由超过10万个零件组成,重达150吨以上。


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△验证High-NA EUV光学系统的真空舱


Rohmund表示,通过与ASML的合作,其零组件已参与全球约80%芯片的生产。他预期,随着超大规模云端服务业者持续投入AI基础建设,今年半导体事业将迎来显著增长。


根据Rohmund的说法,蔡司与ASML已共同制定一份相当长期的技术蓝图,目前已规划到约2040年。



ZEISS将亮相2026湾芯展


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2026年10月14-16日

深圳会展中心(福田)

作为光刻核心光学、晶圆量检测控、光罩解决方案的行业领军者,ZEISS将于10 月14-16日亮相2026湾芯展,展示适配本土产业链的全套精密光学解决方案,打通国际尖端技术与国内产业的协作通道!

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△ZEISS亮相2025湾芯展



来源:湾芯展综合整理

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