一、首先声明,每一颗芯片都是独一无二的,所以芯片与芯片之间存在偏差。为了评价陀螺的这种波动,常用方法是采用标准差(1sigma)进行评价,特殊应用场合也有使用峰峰值来进行评价的,个别半导体厂商(如ST)选用的是平均值(50%),这个标准就比较低了。
二、零偏,零偏稳定性,零偏重复性
1.零偏(Bias)
在陀螺静止时,陀螺仪仍会输出信号。当输入角速率为零时,以规定时间内测得的输出量平均值相应的等效输入角速率表示,单位为°/h,°/s。理想状态下该数值应为地球自转角速度的分量。在角速度输入为零时,陀螺仪的输出是一条复合白噪声信号缓慢变化的曲线,曲线的平均值就是零偏值。
零输入陀螺仪输出信号图
2.零漂或零偏稳定性(Bias Stability),是衡量陀螺仪精度的重要指标之一。表示当输入角速率为零时,衡量陀螺仪输出量围绕其均值(零偏)的离散程度。可以规定时间内输出量的标准偏差相应的等效输入角速率表示,也可称为零漂。单位为°/h,°/s。
计算陀螺零偏稳定性的方法是采集一段数据,去除趋势项,计算均方差,来降低数据的噪声和波动,那么显然采样时间越长,意味着平滑的数据长度长,得到的零偏稳定性数值也就越好。也就是说相同精度下,采样数据平滑时间越短代表性能越好。因此在评估精度时,采样时间也是要考量的参数之一。截至目前,开拓导控旗下MEMS陀螺仪精度可达到零偏稳定性(10s平滑,1σ,室温)0.5°/h,(1s平滑,1σ,室温)1°/h。
两种测算方法如下:
1)国军标的10s或100s平均:采集几个小时的静态数据,每10秒或100秒求平均(以便抑制器件白噪声的影响),然后统计这些平均值的标准差。如果是光纤陀螺,平滑时间通常为10s,如果是激光陀螺,平滑时间通常为100s,MEMS的平滑时间为10s。
2)Allan方差谷底值: 采集足够长时间的静态数据(一般大于10小时,越高等级的器件所需时间越长),画Allan方差曲线,取其谷底值。
3.零偏重复性(Bias Repeatability)
在同样条件下及规定时间间隔内,重复测量陀螺零偏之间的一致程度,以各次测试得到的零偏的标准差表示。单位为°/h,°/s。截至目前,开拓导控旗下Mems陀螺仪零偏重复性(10s平滑,1σ,室温)可达0.5°/h。
三、陀螺仪零偏的指标,这其中包括了零偏稳定性,零偏重复性,噪声强度,随机游走,零偏不稳定性等。
从原理上来讲,陀螺仪上电或开始工作时会出现漂移,又分为常值漂移和随机漂移两种,其中常值漂移就叫零偏。通过获取陀螺仪的零偏,我们就可以在后续系统使用中对其进行补偿,但补偿的是多次测量的均值,在补偿后常值漂移在陀螺的输出中还会有一部分残余,因此,就出现了陀螺测试大纲中的零偏重复性指标,它表征陀螺每次零偏的接近重复程度,零偏重复性好的陀螺经过标定补偿后,残余的常值漂移比较小,可以达到更高的精度。
零偏稳定性则是计算一次通电过程中陀螺输出数据的方差得到,计算方差时上面提到的常值漂移被扣除,因此零偏稳定性反映的是陀螺的随机漂移指标,又称随机噪声。
关于陀螺仪的零偏稳定性,有一点要说明:对于陀螺的零偏稳定性而言,通常采集一段时间的数据,计算这一段数据的均方差,而陀螺的噪声一般认为是白噪声,因此平均(平滑)时间越长,这个指标显得越好。两款陀螺仪,如果A的100s平滑数据与B的1s平滑数据相同,那B的性能一定好于A,这就是为什么很多数据手册上在零偏指标后会有采样时间的说明。
为了找到一种标准统一的评价方式,也有采用噪声强度这个指标的,即噪声谱密度,其单位是度每小时每根号赫兹。现在通常采用Allan方差法分析随机漂移的模型,通常认为其中包含随机游走、零偏不稳定性和角速率随机游走三个主要成分,可能还含有量化噪声和速率斜坡等噪声。计算出随机游走系数,单位是度每根号小时,这个单位与噪声强度的换算关系是:1度每根号小时=60度每小时每根号赫兹。因此,零偏稳定性包括了随机游走的影响。随机游走系数大的陀螺通常零偏稳定性不会很好;但反之,如果一个陀螺的零偏稳定性(随机漂移)较差,随机游走系数却不一定大,因为造成零偏稳定性差的原因可能来自其它噪声源。
假设一个陀螺的随机噪声部分完全是白噪声,那么它的零偏稳定性数值上正好是随机游走系数的60倍,如果算零偏稳定性的时候用的是100秒平滑的结果,那么上述比例关系就是6倍,而实际上由于陀螺的噪声成分中不仅仅含有白噪声,因此这种60倍或6倍的比例关系在实际情况中很难遇到,通常如果及算零偏稳定性的时候计算的是100秒标准差,那么得到的结果通常数值上是随机游走系数的8至10倍左右。
总而言之,在评价陀螺的零偏稳定性时,需要保证此时陀螺的输出只有零位和噪声,如果能将噪声补偿掉,就更好了,剩下的信号求均方差,才是随机游走占主导的零偏稳定性。我司的产品生产出来后,都要在封测厂先标定补偿后,再测量其零偏稳定性。这样一方面能体现陀螺仪的真实漂移,接近理论上能达到的极限精度;另一方面,补偿后的零偏稳定性更小,更容易吹牛逼显得我们产品性能好。
上文提到的噪声强度这个指标,这里的噪声可以认为是一个综合的误差,或者是多项误差的和。这个误差指标包含了零偏稳定性,所以,噪声强度表示的误差,在数值上是大于零偏稳定性这个指标表示的误差。也就是说两者之间没有固定的60倍数值关系。
总结下:零偏重复性指的是陀螺多次上电零偏的重复程度,越重复越容易补偿;零偏稳定性是精度或误差的时域指标,它适用于随机误差主要是白噪声的场合,其优点是简单直白,缺点是没有明确平滑时间,可能造成标准的不统一;噪声是频域指标,克服了零偏稳定性的缺点和缺陷,但它是一个带宽范围内的平均值,显得有些笼统;随机游走源自Allan方差法,也是时域指标,它对应的是随机误差中的白噪声部分,其他还有偏值不稳定性,对应闪变噪声部分;速率随机游走,对应布朗噪声部分等。
四、国际巨头主力IMU产品
1.博世(Bosch):车载MEMS传感器市场领导者
博世作为全球最大的汽车零部件供应商之一,在车载MEMS传感器领域占据约27%的市场份额。其产品线覆盖从基础ESC到高级自动驾驶的全系列应用,所有产品均通过AEC-Q100车规认证。1)SMI270 - ASIL-B级6轴惯性传感器SMI270是博世专为L2+半自动驾驶和脱手驾驶应用设计的高性能6轴IMU:功能安全等级:ASIL-B(符合ISO 26262标准)测量范围:陀螺仪±300°/s或±500°/s,加速度计±4g或±16gSMI270的独特之处在于其内置的安全控制器,能够实时监控传感器功能,确保在整个生命周期内的可靠运行。该产品特别适用于需要高精度姿态感知的应用,如车道保持辅助、自适应巡航控制等。BMI088是博世面向无人机和机器人应用的旗舰产品,技术规格达到行业领先水平:测量范围:陀螺仪±125°/s至±2000°/s,加速度计±2g至±16g零偏稳定性:陀螺仪±1°/s,加速度计±20mg(全生命周期典型值)BMI088采用博世成熟的汽车级MEMS技术,具有极高的振动鲁棒性和温度稳定性。其低噪声特性(陀螺仪噪声密度0.01°/s/√Hz)使其成为高精度运动控制应用的理想选择。SMU2系列提供了灵活的配置选项,集成了z轴/x轴陀螺仪和三轴加速度计,用户可根据具体应用需求选择不同的轴组合。该系列产品具有多种节能模式,功耗控制在极低水平,特别适合对功耗敏感的应用场景。2.TDK-InvenSense:汽车MEMS运动跟踪技术专家
TDK-InvenSense通过收购InvenSense进入MEMS传感器领域,其产品以高精度和高可靠性著称,在自动驾驶市场占据重要地位。1)IAM-20689 - ASIL-D级旗舰产品IAM-20689是TDK-InvenSense专为L4级自动驾驶设计的顶级6轴IMU,代表了当前车载MEMS技术的最高水平:安全等级:ASIL-D(ISO 26262:2018最高等级)应用领域:自动驾驶、自动泊车、ADAS、高精度定位IAM-20689的最大亮点是其20个嵌入式安全机制(SMS),能够在启动时、命令触发时或连续运行中执行故障检测,确保全生命周期的安全运行。该产品已被多家顶级自动驾驶公司采用。2)IAM-20685HP - ASIL-B级高性能IMUIAM-20685HP是TDK-InvenSense的第二代汽车级IMU:安全等级:ASIL-B(符合ISO 26262:2018标准)封装尺寸:4.5×4.5×1.1mm³(24引脚DQFN)测量范围:陀螺仪±41°/s至±1966°/s,加速度计±2g至±65gIAM-20685HP采用了TDK专有的CMOS-MEMS制造平台,通过体积验证的技术确保产品的高可靠性。其可编程的测量范围使其能够适应从低速泊车到高速行驶的全场景需求。3)ICM-20689 - 集成数字运动处理器的IMUICM-20689是一款集成了数字运动处理器(DMP)的6轴IMU,特别适合需要实时运动处理的应用:接口类型:I2C(400kHz快速模式)和SPI(8MHz)特色功能:4KB FIFO缓冲区、用户可编程中断、数字温度传感器ICM-20689的DMP能够在传感器内部直接执行运动算法,大大减轻了主处理器的负担,特别适合功耗敏感的应用场景。3.村田制作所(Murata):低g加速度传感器全球领导者
村田制作所凭借其在陶瓷材料和MEMS工艺方面的技术积累,在车载MEMS传感器市场占据重要地位。SCH1600系列是村田面向高级汽车应用的旗舰产品,最大特点是其冗余设计,通过双输出通道提供更高的系统可靠性。该系列产品已被广泛应用于高级驾驶辅助系统和自动驾驶车辆中。,具有以下特性:带宽选项:13、30、68、235、280或370Hz2)SCC3000系列 - ASIL-D级安全关键型传感器SCC3000系列专为安全关键型汽车应用设计,代表了村田在功能安全方面的最高水平。SCC3000系列的所有型号都具有相同的引脚配置和软件兼容性,便于用户根据需求灵活选择。该系列产品特别适用于电子稳定控制系统(ESC)、车道保持辅助(LKA)等安全关键应用。安全等级:符合ISO 26262标准,支持ASIL-D系统开发测量范围:加速度计±6g或±15g,陀螺仪±300dps工作温度:-40°C至+110°C(可扩展至+125°C)SCHA63T系列提供了平衡性能和成本的解决方案,采用村田成熟的3D MEMS技术,具有优异的温度稳定性和长期可靠性,已被多家主流车企采用:4.意法半导体(STMicroelectronics):汽车功能安全MEMS专家
意法半导体在MEMS传感器领域拥有超过25年的经验,其车载产品以高集成度和卓越的功能安全性能著称。1)ASM330LHB - ASIL-B级6轴IMUASM330LHB是意法半导体面向L2+自动驾驶的主力产品,独特之处在于其集成的机器学习内核(MLC)和可编程状态机(FSM),能够在传感器内部执行AI算法,实现超低功耗的智能功能。该产品已通过AEC-Q100认证,特别适用于需要高可靠性的汽车应用。具有以下核心特性:封装规格:14引脚VFLGA(2.5×3.0mm)测量范围:加速度计±2/±4/±8/±16g,陀螺仪±125/±250/±500/±1000/±2000/±4000dpsA3G4250D是意法半导体的经典产品,采用意法半导体专有的微机械加工工艺,具有出色的温度稳定性和长期可靠性。该产品特别适合对成本敏感但又需要基本姿态感知功能的应用,以优异的性价比著称:3)ISM330DHCX - 集成AI功能的6轴IMUISM330DHCX代表了意法半导体在智能化MEMS传感器方面的最新进展:低噪声性能:陀螺仪噪声密度0.007°/s/√HzISM330DHCX的机器学习内核能够识别车辆的运动模式,如急加速、急刹车、急转弯等,为自动驾驶系统提供更丰富的上下文信息。5.ADI:战术级MEMS惯性技术领导者
ADI凭借其在高性能模拟和数字信号处理技术方面的优势,在高端车载MEMS市场占据重要地位。ADIS16495是ADI面向高端自动驾驶和机器人应用的旗舰产品,具有以下特性:产品定位:战术级6轴IMU(三轴陀螺仪+三轴加速度计)测量范围:陀螺仪±125°/s、±450°/s或±2000°/s可选零偏稳定性:0.8°/h(ADIS16495-1型号)ADIS16495的突出特点是其工厂校准,每个传感器都经过全面的灵敏度、偏置、对准和线性加速度(陀螺仪偏置)校准,校准温度范围为-40°C至+85°C。这种校准确保了产品在全温度范围内的高精度和高可靠性。ADIS16488A是一款集成度极高的惯性测量系统,特别适合需要全方位运动感知的应用,如自动驾驶测试车、无人机等。其集成的气压计能够提供高度信息,进一步增强了导航能力:自由度:10轴(3轴陀螺仪+3轴加速度计+3轴磁力计+1轴气压计)陀螺仪性能:±450°/s量程,零偏稳定性0.8°/hADXRS645是ADI专为极端环境设计的MEMS陀螺仪,采用创新的角速率检测方法,通过四个谐振器的差分检测抑制共模外部加速度,使其能够在极端振动环境下保持高精度输出:6.Silicon Sensing - 硅环振动陀螺仪专家
Silicon Sensing的CRG20/CMS300系列采用独特的硅环振动技术:该系列产品特别适合对可靠性要求极高的航空航天和军事应用。7.霍尼韦尔(Honeywell)- 战术级惯性技术领导者霍尼韦尔的HGuide i300和HG4930系列代表了MEMS惯性技术的最高水平,以卓越的长期稳定性著称,特别适合需要长时间高精度导航的应用:
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