EGP玖恩智能将亮相湾芯展
2026湾芯展将于10月14-16日在深圳会展中心(福田)盛大举办,届时湖北玖恩智能科技有限公司将亮相9号馆9C18展位,诚邀产业同仁莅临观展!
湖北玖恩智能科技有限公司

湖北玖恩智能科技有限公司是一家专注于研发生产超高纯气体纯化设备的国家高新技术企业、国家科技型中小企业、创新型中小企业、湖北省专精特新中小企业、瞪羚企业以及知识产权示范企业,属于半导体设备国产化替代项目。
公司全面掌握各类大宗气体、特种气体的超高纯提纯技术,可将气体提纯至十亿分之一(<1ppb),XCDA及CO2可提纯至小于10ppt水平,公司产品已应用于国内多个12寸重点半导体项目。
展位号:9号馆9C18
部分展品

大流量纯化器
流量最高可达50000CMH,可去除H2O、O2、CO 、CO2、H2、N2、THC等杂质<1ppb(优势:高性能、高稳定性、低损耗、国产化替代)

超高纯纯化器
XCDA、CO2、超临界CO2纯化器可去除H2O、酸 、碱、有机等杂质<10ppt(优势:填补国内空白、主要应用于光刻机等设备端纯化)

POU特气纯化器
涵盖N2、H2、O2、Ar、He、Kr、Ne、Xe、CDA、CH4、CO2、Cl2、BF3、HCl、GeCl4、GeH4、H2S、H2Se、HBr、SiHCl3、SO2等五十多种特气的纯化(优势:填补国内空白、规格尺寸可一比一替代进口,主要应用于光刻、外延、刻蚀等工艺端纯化)

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