展商推介 | 艾佩科将亮相2026湾芯展

艾佩科（上海）气体有限公司成立于2011年，总部位于上海虹桥商务区（闵行），是一家专注于电子气体、前驱体材料与电子化学品研发、生产及销售的专业公司。

集团拥有APK上海、APK南通、APK香港、上海大湖四家全资公司，并参股沧州华宇，构建起覆盖研发、制造、销售与服务的完整业务布局。公司致力于为半导体领域客户提供高纯度、高性能的关键材料与整体解决方案，有力支撑先进制造工艺中的核心材料需求。

深耕电子特气领域，艾佩科构建了覆盖半导体全制程的高纯气体供应体系。以三氯化硼（BCl₃）、八氟环丁烷（C₄F₈）、甲基三氯硅烷（MTS）及多种电子混合气为核心产品，精准聚焦刻蚀、外延、清洗、离子注入、薄膜沉积等关键工艺，已成为全球半导体、光伏等泛半导体客户值得信赖的合作伙伴。

针对离子注入工序中的高危气体，公司采用自主研发的负压钢瓶充装技术，有效降低泄漏风险，全方位保障运输与使用的安全性和稳定性。

针对半导体扩散掺杂等工艺的严苛要求，艾佩科推出高纯度电子化学品产品线，覆盖硅源、硼源、磷源等多品类。核心产品包括正硅酸四乙酯（TEOS）、三氯氧磷（POCl₃）、三溴化硼（BBr₃）及硼/磷酸甲、乙酯系列（如TMB、TMP等），产品纯度达7N~9N等级，已在众多终端用户量产线实现长期稳定供货。

作为高端前驱体材料专业供应商，艾佩科积极携手海内外同行及国内一流科研院校开展深度合作，于南通组建专业研发团队，配备高标准实验室与规模化生产线，持续推动前沿前驱体材料的研发、验证及市场化落地，全力支持国产晶圆制造向先进制程稳步迈进。

• 金属类前驱体：覆盖铝、镓、铟、镁、锆、铪、钛、钽、铌、镱、钼、镍等多种金属元素，是构筑High-K栅极介质、功能性衬底与精准掺杂工艺的核心基石，为先进逻辑与存储芯片的制程微缩提供关键材料支撑。

• 硅基类前驱体：按需定制硅系前驱体方案，精准适配工艺窗口，成就低介含硅薄膜卓越沉积表现。

• 客制化配套服务：从特种前驱体源瓶定制，到专业源瓶清洗、保养与维修，艾佩科以全链条专业能力，成为客户最坚实的供应链伙伴。

以材料创新赋能半导体产业，艾佩科将持续深耕电子气体、电子化学品与高端前驱体领域，与全球客户携手，共同推动集成电路先进制造迈向更高品质、更高性能的未来。