展商推介 | 汉钟精机诚邀您莅临2026湾芯展

汉钟PMF100，半导体洁净型干式螺杆真空泵，国产替代优选，专为洁净轻工艺打造 。

✅核心性能

• 抽速：100m³/h，极限真空7.5×10⁻³Torr，功率2.2kW

• 干式无油结构，无油气返流，不会污染腔体工件，适配高洁净工艺

• 永磁电机+待机节能模式，空载低功耗，长期运行省电明显

• 体积小巧、重量60kg，占地小，安装灵活，可适配设备集成

• 水冷散热，运行噪音低，整机可靠性高，维护简便

✅适用行业场景

半导体Load‑Lock、晶圆传输、TFT‑LCD面板、触控屏、光伏、PVD镀膜、等离子制程、真空脱气、干燥除气等洁净轻负荷工艺。