展商推介 | 凯世通诚邀您莅临2026湾芯展

上海凯世通半导体股份有限公司成立于2009年4月，是一家以离子注入技术为核心的集成电路高端装备企业，属上海先导基电科技股份有限公司（SH.600641）控股子公司。2024年11月，全球稀散金属全产业链高科技领军企业先导科技集团成为凯世通实控人。公司总部位于上海浦东，在北京、合肥、无锡、上海临港等地设有子公司。公司产品包括低能大束流离子注入机、高能离子注入机、中束流离子注入机、SiC/GaN/第三代半导体离子注入机、氢离子注入机、先进制程大束流离子注入机等全系列产品，工艺覆盖逻辑、存储、功率、模拟、第三代半导体等多个应用领域。

Hyperion低能大束流离子注入机，基于国际领先的光路架构，凝聚多年工程经验，实现更高的束流传输效率与更稳定的工艺结果，能量范围0.2- 60/80KeV。

iKing 360 中束流离子注入机，单价能量360KeV，采用直流静电加速器，水平束流扫描，具有良好的金属污染控制和颗粒污染控制，最大束流强度较市场同类产品具有显著优势。