展商推介 | 中瓷电子诚邀您莅临2026湾芯展

作为国内电子陶瓷行业的领先企业，电子陶瓷市场份额居国内行业前列，并致力于发展成为世界一流的电子陶瓷产品供应商。公司电子陶瓷业务的技术优势主要体现在电子陶瓷新材料、半导体外壳仿真设计、生产工艺等方面。公司自主开发电子陶瓷及配套的金属化体系材料，全面掌握多层陶瓷高温共烧技术，建立了多条自动化生产线，配备先进的高频、应力、热模拟等设计手段。公司建立了完善的氧化铝陶瓷和氮化铝陶瓷加工平台，6/8/12 英寸静电卡盘和加热盘制造工艺平台。

静电卡盘又称为静电吸盘（ESC），是半导体设备中价值比较高的部件之一，是一种半导体工艺中的硅片夹持工具，利用静电吸附原理来固定硅片。 目前，静电卡盘和陶瓷加热器广泛应用于集成电路制造工艺中，特别是刻蚀、PVD、CVD等核心工艺中。静电卡盘主要由基座Base和陶瓷圆盘两部分组成。基座通常采用铝材质，内部设计有冷却液流通通道、气孔通道以及电极导线通道等结构，用于散热和电气连接。而陶瓷圆盘则是通过多层陶瓷共烧制成，结构类似千层饼，从上到下依次为电介质层、电极组层、绝缘/导热衬底层、加热电极层以及绝缘/导热衬底层。同时，基座和圆盘通过硅树脂胶粘剂连接，形成隔热层以减少热量损失，并确保其密封性。