《投影光刻机的微环控技术及其应用》
华中科技大学 李小平 研究员
《光刻机中的超精密运动控制技术》
哈尔滨工业大学 刘杨 教授
《软X射线干涉光刻技术及其应用》
中国科学院上海高等研究院 赵俊 正高级工程师
《面向集成电路制造的导向自组装光刻技术》
复旦大学 李自力 副研究员
《面向先进光刻的桌面级EUV激光器》
合肥皓宇芯光科技有限公司 杨皓 CTO
《多电子束并行光刻关键技术与研究进展》
湖南大学 冯波 副教授
《单纳米图形拼接精度的电子束光刻技术》
百及纳米科技(上海)有限公司 周向前 首席科学家
《国产设备在桑德斯微功率半导体光刻工艺中的推进》
桑德斯微电子器件（南京）有限公司
俞杰铭 中国区市场部经理
《芯火相传——国产化合物半导体光刻机的探索与创新》
上海芯上微装科技股份有限公司 唐彩红 产品经理
《高精度电子束光刻技术在光罩制造中的应用》
宁波冠石半导体有限公司 王兴平 总经理
《光掩膜基板用石英玻璃的制造工艺》
湖北菲利华石英玻璃股份有限公司 樊明轩 博士
《国产100kV生产型电子束曝光机研制进展》
中国电子科技集团公司第四十八研究所 张超 产品线经理
《先进封装技术和设备赋能万亿晶体管AI芯片制造》
芜湖立德智兴半导体有限公司 李元雄 首席技术官
《广微纳90nm～28nm的ArF光刻胶产品开发及DSA技术研发》
广州微纳光刻材料科技有限公司
杨振宇 总经理助理、研发经理
《纳米压印光刻胶开发进展》
徐州博康信息化学品有限公司上海分公司
赵欣欣 项目经理/副高级工程师
《从匀胶显影到光刻：半导体制造的精密接力》
中国电子科技集团公司第四十五研究所/
三河建华高科有限责任公司
匀胶显影设备事业部 王鉞淞 高级专家
