对非球面测量干涉仪中猫眼作为参考位置的定位准确度的研究

来源：PTB新闻

光学制造行业对非球面和自由曲面光学元件的兴趣日益增加，这导致了对这些表面精确形状测量的高需求。倾斜波干涉仪提供了一种快速且灵活的解决方案。然而，与其他干涉测量方法类似，样本错位和某些形状误差之间存在模糊性。为了确保形状测量的准确性，样本定位的准确性至关重要。在一项新的出版物中，介绍了一种多步骤的样本定位程序，该程序使用猫眼参考位置作为固定的参考位置。通过模拟评估不同的对准标准，并将其纳入用于将样本对准到猫眼位置的对准算法中。该程序经过多个测试样本的调查，显示出良好的短期重复性，标准偏差低于30纳米。使用这种样本对准程序将显著减少与轴向错位相关的表面形状测量误差，并提高倾斜波干涉仪的整体测量准确度。

For further information:

Scholz, Gregor; Evers, Daniel; Fortmeier, Ines,"Investigation of the positioning accuracy of the Cat’s Eye as a reference position in asphere-measuring interferometry", J. Eur. Opt. Society-Rapid Publ., 21 1 (2025), DOI: https://doi.org/10.1051/jeos/2025016

编译：孙惠颖

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