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全国首条 8 英寸 MEMS 晶圆全自动生产线
近日，由中电二公司承建、安徽华鑫微纳投资的中国蚌埠传感谷 8 英寸 MEMS 晶圆生产线 EPC 项目首批产品下线，标志全国首条 8 英寸 MEMS 晶圆全自动生产线、首条工艺设备配套齐全的压电 MEMS 量产线投产，意义重大。
该项目是国家级重点项目，2022 年 6 月中电二公司中标，总投资 50.6 亿元，占地 79 亩，建筑面积 6 万平方米，定位国内领先的 MEMS 晶圆代工企业及 “开放式、定制化 MEMS 代工平台基地”，全部投产后月产 3 万片晶圆，将成国内产出最大的 MEMS 全自动晶圆生产线，产品覆盖惯性传感器等，应用于多领域。
建设中，中电二公司以 “精益建造” 理念，组建专业团队，全链协同推进，攻克高支模等难题，推行正向设计、防微振等技术，如制冷系统 SCOP 从 4.5 升至 5.5，年省电费超 235 万元，还实施颜色管理提升品质，获 “优秀承包商” 等荣誉。
作为安徽 “三谷” 之一，该项目助力蚌埠传感产业升级，也为中国智能传感器产业注入动能。当前中国传感谷已入选全国十大 MEMS 特色产业园区，集聚 200 余家企业，成长三角传感产业关键力量。
