近日，由广州计量院（GIMT）牵头承担的国家重点研发计划“国家质量基础设施体系”重点专项——“高适应性智能化数字X射线3D在线检测关键部件及系统研制”项目，以92.80的高分顺利通过国家市场监督管理总局组织的综合绩效评价。
项目针对多层集成电路及芯片在线实时3D成像与检测的重大需求，着力破解宽禁带氧化物探测器耐辐照寿命短、稳定性差、成像速率低等技术难题，成功突破阵列式平板探测器关键技术瓶颈，实现核心器件自主可控。
项目成功研制出国际领先的数字化高速3D检测集成系统，攻克了“卡脖子”难题，实现了国内芯片制造业检测从跟跑到领跑的跨越，推动了高端装备规模化国产替代。
广州计量院（GIMT）将持续发挥技术优势，深化产学研检协同创新，加快成果转化与标准引领，为我国智能制造、微电子及新能源产业高质量发展提供坚实质量基础设施支撑。
