参考资料：
Arxiv-Optimization of EUV output by experimentally validated radiation-hydrodynamic simulations across a broad laser parameter space
https://arxiv.org/pdf/2606.05948
跨波段激光参数空间下的极紫外（EUV）光源转换效率优化研究
半导体产业研究
2026-06-17 19:04
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