ASML向国外科技媒体《Tom's Hardware》表示，有关其一台极紫外（EUV）光刻设备突破出口管制流入中国的说法既与事实不符，也损害了公司声誉。此前有报道称，美国商务部长霍华德・卢特尼克已就此事质询ASML高层，担忧该设备违规流入中国。
彭博社援引熟悉美政府官员与ASML高管谈判内情的消息人士报道称，近期有消息声称美国政府怀疑ASML一台极紫外光刻设备通过某种渠道流入中国，ASML对此予以驳斥。ASML否认存在任何违规行为，并宣称其掌握每一台自研 EUV 设备的确切去向。
据报道，该争议问题出现在美国商务部长霍华德・卢特尼克与ASML高管的会谈中。彭博社援引知情人士消息称，卢特尼克当时质询是否有 EUV 设备流入中国。若属实，将构成严重违反出口管制的行为：依据《瓦森纳协定》，ASML不得向中国客户出口 EUV 光刻设备。基于以上事实，ASML称相关指控“毫无依据” 且 “有损企业形象”。
ASML一名发言人向《Tom's Hardware》表示：“近年来，我们已多次辟谣多起针对对华出口管制违规的不实传言，这些虚假消息均歪曲事实、损害公司声誉。”
美国政府尚未公开出示完整 EUV 光刻机已在中国投入使用的实证。但多名美国政府高级官员向彭博社透露，美方掌握线索显示ASML曾出口配套 EUV 设备的相关装置，其中包含用于 “转运 EUV 整机” 的专用配套系统。出于信息敏感性考量，这些官员拒绝披露任何佐证材料。
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