芯片设备制造商阿斯麦周五表示,从未向中国运送过极紫外(EUV)光刻机。此前有报道称,美国官员担心该公司最先进的设备之一可能已经流入中国。
“ASML从未向中国运送过EUV光刻机,也从未向中国运送过任何专门设计用于EUV光刻机的组件、模块或设备,”这家芯片制造商在发给路透社的电子邮件声明中表示。
彭博新闻早前报道称,美国商务部长霍华德·卢特尼克曾表示担忧,ASML 的极紫外光刻(EUV)设备可能违反美国主导的出口限制流入中国。
报告还指出,卢特尼克在一系列会议上向这家荷兰公司的高层领导表达了这些担忧。
ASML表示,已驳斥有关其不遵守中国出口管制规定的指控,并补充说,该公司“一直根据出口管制的任何发展情况调整其业务,以遵守任何新规定”。
ASML 最先进的 EUV 系统体积与校车相仿,重量达 180 吨。
荷兰外交部在一份电子邮件声明中表示:“在半导体制造设备的出口方面,荷兰遵循明确的规则和控制清单,这些规则和清单以欧洲两用物项条例和额外的国家措施为基础。”
该部表示,“所有明确属于这些规则范围内的设备、组件和技术都需要许可证”,并补充说,该部将非常严格地执行这项政策,“并在必要时进行干预”。
路透社联系美国商务部和白宫时,由于时间已过,未能立即就此事发表评论。
今年 4 月,华盛顿提出一项法律,要求美国盟友遵守其出口管制措施,以遏制中国制造先进半导体的能力,该法案中点名了 ASML 生产的设备。