美初创获能源部大奖,拟以X射线光刻挑战ASML垄断

科技区角 2026-08-03 12:02

【区角快讯】半导体设备领域的“皇冠明珠”长期被荷兰巨头阿斯麦(ASML)牢牢掌控,其极紫外(EUV)光刻机单台售价高达4亿美元(约合27亿元人民币),内部零件逾十万个,年研发投入更达50亿美元之巨。然而,一家名为Inversion Semiconductor的旧金山初创企业,正试图通过一条截然不同的技术路径打破这一僵局。该公司近日斩获美国能源部“Genesis Mission”(创世纪任务)奖项,该计划旨在推动人工智能在科学与工程前沿的应用落地。

与传统EUV光源不同,Invision Semiconductor的方案是利用高功率激光轰击气体(推测为氢或氦),激发超高温等离子体,使电子在磁场结构中高速振荡并发出波长极短、近乎X射线的光源。据称,这种光源每秒可产生5亿次脉冲,频率较ASML每秒轰击锡滴5万次的方案高出整整一万倍。公司创始人形象地比喻道,ASML的光线如同灯泡般向四周散射,需依赖昂贵且复杂的光学镜片组进行收集;而他们的技术则类似激光,光束集中且笔直,大幅简化了光学系统的设计难度。

凭借这一颇具颠覆性的构想,该公司已成功获得Y Combinator和Entrepreneur First两家知名机构提供的50万美元(约338万元人民币)种子前投资,并额外赢得75万美元(约507万元人民币)的政府资助,这笔资金将与劳伦斯伯克利国家实验室共享使用。不过,从理论到现实的距离依然遥远。公司坦诚,距离制造出首台测试样机仍需数年时间。尽管其核心激光器体积已从数个足球场大小缩减至长约30米、宽5至10米的规模,但仍属庞然大物。若该技术最终得以验证,芯片制造速度有望提升15倍,这不仅意味着产能的爆发式增长,更可能引发芯片价格的显著下调,从而真正重塑全球半导体供应链格局。

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