
一、卫浴巨头跨界半导体,百亿加码先进陶瓷
以马桶卫浴闻名的日本TOTO,2026年7月宣布投资170亿日元,在茅崎工厂新建陶瓷研发大楼,2028年4月竣工。该项目是公司整体300亿日元半导体陶瓷投资的重要部分。
TOTO布局精密陶瓷由来已久,1976年启动相关研究,1984年正式开展陶瓷业务。在中长期战略WILL2030中,半导体先进陶瓷被定位为核心成长赛道,业务从卫浴陶瓷延伸至半导体、光通信领域。
二、两大核心半导体陶瓷产品,适配AI芯片制造
TOTO半导体陶瓷主要包含静电卡盘(ESC)与AD气溶胶沉积陶瓷部件。
静电卡盘依靠静电力固定晶圆,先进制程对温度、平整度、颗粒控制要求严苛,是芯片设备关键零部件。
AD气溶胶沉积技术,以接近音速喷射陶瓷粉末,生成致密氧化钇陶瓷膜,抗等离子腐蚀,减少芯片生产颗粒污染,性能优于传统热喷涂工艺。AI GPU、HBM、先进芯片爆发,持续拉动两类产品需求。
三、研产同步布局,搭建完整产业链分工
TOTO采用研发、制造双线同步扩张策略。
研发端:茅崎基地承担技术研发,新大楼主攻下一代静电卡盘、AD部件技术迭代。
生产端:中津工厂、丰前工厂负责量产;丰前工厂静电卡盘烧成厂房2025年12月开工,预计2027年1月投产;中津工厂完成多轮扩建。
形成茅崎搞研发,中津、丰前做制造的分工体系,打通材料开发、设计、生产、性能验证全链条。
四、AI浪潮传导上游,小众陶瓷成为供应链关键
AI算力扩张不止带动GPU、HBM需求,需求向上游设备材料传导。
静电卡盘、氧化钇涂层属于过去小众零部件,但芯片制造的高温、强等离子环境,高度依赖高性能特种陶瓷,直接影响良率。
TOTO把几十年卫浴陶瓷积累的材料、烧结工艺,迁移到半导体材料。本轮投资只是开端,公司还规划后续更大规模扩产,传统陶瓷企业已经深度嵌入AI半导体供应链。
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