2026 年，中国台湾ODM大厂今国光学（Kinko Optical）官宣，采用Beneq C2R™等离子体增强空间ALD系统，用于AR衍射光波导的大规模量产，为合作伙伴生产高折射率、低损耗的间隙填充光学镀膜。
老牌光学厂商为AR波导量产线选定ALD设备，释放出两大信号：其一，ALD的应用边界正从半导体前道加速延伸至AR光学场景；其二，ALD已切入衍射波导量产的核心瓶颈环节。
光波导镀膜：凭借原子级保形沉积能力，ALD可沿光栅沟槽沉积高折射率薄膜，实现厚度均匀、界面平整的致密膜层，精准调控折射率，提升光栅耦合效率，降低光损耗，并改善色偏、杂散光等行业共性问题。 Micro LED芯片侧壁钝化：Micro LED刻蚀后的侧壁缺陷是漏电流的主要来源，ALD致密无针孔的钝化薄膜可修复侧壁缺陷、抑制漏电流，提升外量子效率与器件稳定性；同时还可制备DBR反射叠层与水汽阻隔膜，优化光取出效率。 Micro OLED薄膜封装：Micro OLED蒸镀发光材料后，有机层对水汽和氧气极度敏感，ALD可沉积致密无针孔的阻隔薄膜，是薄膜封装（TFE）的关键工艺。 光机与整机防护：ALD致密阻隔薄膜，可对光波导镜片、光学元器件实现防潮防护，提升 AR 眼镜整机耐温耐湿性能。
光波导领域，思锐智能Beneq C2R™ 等离子体增强空间 ALD系统已获Kinko商业订单。 Micro LED光机领域，思锐智能是少数推出Micro LED专用ALD设备的厂商，去年已获Micro LED头部客户追加订单； 2026年 进一步取获得5家Micro LED客户 的量产设备订单。 Micro OLED光机领域，据调查国内外知名micro OLED厂商已将其设备用于产线。
