
近日,英特尔公布了一项2022年提交的技术专利。该专利披露了一种集成Micro LED的IC封装结构:半导体裸片内嵌于玻璃基板之中,玻璃基板内的TGV(玻璃通孔)直接为裸片上的Micro LED供电,再经封装基板连接主板。

根据专利描述,这些Micro LED可采用纳米线结构,能分别发出红、绿、蓝三色光,用途包括DIY电子产品的个性化装饰、封装内部的电性测试指示,以及可在CPU表面呈现发光字样,为芯片增添功能指示与美学卖点。
制造流程上,先在玻璃基板上以激光诱导加化学蚀刻形成通孔与裸片腔体,再经电镀填充铜形成TGV,随后将带Micro LED的裸片嵌入腔体,两侧以氮化硅层粘合聚合物封装基板,完成信号与供电的垂直互连。专利还给出了裸片横置、纵置以及加装反射镜等多种结构变体。
值得注意的是,英特尔长期对玻璃基板技术进行投入布局。英特尔自2013年起研究以玻璃替代有机基板,累计积累了大量专利,并于2023年率先发布玻璃基板样品。
今年其商业化明显提速:1月在NEPCON Japan展出“厚玻璃芯+EMIB”工程样品,实现约78×77毫米大尺寸封装无微裂纹切割;6月的ECTC 2026上,英特尔公布玻璃芯基板量产级技术验证,完成从通孔制备、金属化、多层布线到光电融合的全流程贯通,其无缺陷24层结构及翘曲控制数据成为行业焦点。
生态合作也在铺开,今年7月,蓝思科技全资子公司与英特尔签署合作备忘录,将TGV先进封装列为合作重点。
英特尔输出架构信息、DFM指南与验证方法,蓝思承担穿孔成型、高精度激光加工、金属化沉积与多层互连布线,其百万级通孔0ppm不通率样品已送样北美与韩国客户验证。
此外,今年5月,英特尔还联手美国半导体技术公司3DGS在印度推进约33亿美元的玻璃基板工厂,规划年产能约为7万片玻璃基板、5000万个组装单元,以及近1.3万个先进3D异构集成模块,面向AI芯片、高性能计算的大尺寸、高密度封装需求,项目预计2028~2030年实现规模化出货。
来源:LEDinside等,侵删
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序号 | 初拟议题 |
1 | 玻璃基板商业化元年回顾与量产关键节点展望 |
2 | 厚玻璃TGV成型技术最新突破与产业化路径 |
3 | 高深宽比通孔金属化种子层沉积工艺挑战与解决方案 |
4 | 玻璃基板良率提升全流程管控 |
5 | 玻璃基板检测与量测设备全流程方案 |
6 | 玻璃基板在CPO光互联中的应用与高速光引擎进展 |
7 | 玻璃基器官芯片:TGV技术在生命科学领域的跨界探索 |
8 | 国产玻璃原片技术进展与先进封装材料需求匹配 |
9 | 玻璃基板激光打孔设备最新进展 |
10 | 铜浆增材制造TGV电路板:低成本金属化路线探索 |
11 | 大尺寸玻璃基板翘曲控制与热膨胀系数匹配策略 |
12 | 先进封装混合键合工艺中的清洗技术及玻璃基板应用 |
13 | 玻璃基光波导技术:面向光互连的离子交换方案 |
14 | 高能脉冲电源在深孔磁控溅射种子层沉积中的应用 |
15 | 玻璃基板关键材料国产替代:CMP抛光垫、电镀液与光刻胶 |
16 | TGV玻璃基板专用掩膜版技术发展与产业化 |
17 | 玻璃芯基板与玻璃转接板:技术路线对比与产业化选择 |
18 | 玻璃基板在AI算力芯片封装中的2.5D/3D集成方案 |
19 | 玻璃线路板产业生态建设与上下游协同创新 |
20 | 玻璃基板金属化设备:PVD、电镀与铜填充技术发展 |
21 | 玻璃基板键合与解键合设备在超薄玻璃加工中的应用 |
22 | 玻璃基板在Mini/MicroLED显示中的量产实践 |
23 | TGV集成无源器件在射频前端模组中的应用 |
24 | 玻璃基板可靠性分析与失效机理研究 |
25 | 玻璃基板热处理设备:退火、固化与应力控制 |
26 | 玻璃基板涂胶显影与光刻设备在RDL制程中的应用 |
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