展商推介 | 凯德石英将亮相2026湾芯展

北京凯德石英股份有限公司1997年1月成立，是一家集研发、生产、销售与服务为一体的石英制品深加工企业。公司长期为半导体集成电路芯片制造厂、国内各大型微电子集团，以及化合物晶体生产线加工配套石英制品，是国家高新技术企业及中关村高新技术企业，北京市专精特新中小企业、北京市专精特新小巨人企业及国家级专精特新小巨人企业。公司自成立以来长期深耕于石英制品制造行业，建立了一支技术研发和创新能力强的高素质人才队伍，成功取得多项发明专利，在高端石英制品的研发制造上，公司是国内第一家通过中芯国际 12 英寸零部件认证的集成电路工艺用石英零部件生产企业。公司于2022年3月4日在北京证券交易所上市。

凯德石英生产制造的高纯石英零部件适用于集成电路制造、化合物半导体材料生长等各种高低温环境，产品尺寸精确、耐高温、纯度高、化学稳定性强。

产品为EPI工艺时对硅片的支撑托举部件，产品对支撑位置的平面度、零件整体同轴度要求及高，需要专用设备和模具完成加工。

材料为复合石英材料(三明治石英），在炉管内使用，相较普通的OP材料更加耐酸洗，可以延长使用寿命。

此产品用于SIC外延工艺，是第三代半导体关键工艺工序不可缺少的重要部件，产品为双层结构，在应用过程中需要承压，对焊接和退火要求非常高。