展商推介 | 日立高新将亮相2026湾芯展

日立高新技术集团是日立集团旗下专注于高新技术解决方案的核心企业。公司成立于1947年，业务遍及全球。其核心业务以“观察、测量、分析”技术为基础，广泛涵盖半导体制造与检测设备、科学分析仪器（如电子显微镜、光谱仪）、医疗分析系统、产业解决方案及先进工业部件等领域。作为全球市场的关键参与者，集团致力于通过创新技术解决社会课题，在可持续发展方面亦获得国际认可，愿景是成为高新技术解决方案领域的全球领先者。

搭载日立先进技术的CD-SEM CS5000兼容3、4、6、8英寸*1晶圆的CD测量，提供高解析度的SEM成像，更高的测量精度和快速自动化操作，将有助于提高客户现有生产线的生产力。此外用户可以通过简单的操作处理自动搬送三种不同尺寸的晶圆*2。除了传统的硅基晶圆以外，对于SiC（碳化硅），GaN（氮化镓），Glass（玻璃）等材质晶圆也有丰富的对应实绩。

自动传送 Φ200 毫米或更小的Wafer后，可将其准确移动到关键图案位置或缺陷检查设备检测到的缺陷位置，并利用样品台倾斜功能进行3D SEM观察。 此外，还可利用元素分析功能（EDS：EDS：Energy Dispersive-X-ray Spectrometer）*2 观测观察对象的组成元素。