同飞股份将亮相湾芯展
2026湾芯展将于10月14-16日在深圳会展中心(福田)盛大举办,届时三河同飞制冷股份有限公司将亮相9号馆9A15展位,诚邀产业同仁莅临观展!
三河同飞制冷股份有限公司

同飞股份成立于2001年,(股票代码:300990),深交所创业板上市,总部位于河北三河。国际设有德国、新加坡子公司及泰国工厂,国内设苏州子公司及北京、天津、上海、杭州、深圳等分公司。
公司聚焦工业温控技术创新与专业化发展,是国内专业的工业温控综合解决方案服务商,致力于工业温控设备的研发、生产、销售和服务。
荣获工信部绿色工厂、河北省科技领军企业等荣誉,建有多个省市级研发平台。产品主要应用于半导体、数据中心、数控装备、电力电子、储能、氢能、新能源汽车(充换电)、医疗器械、工业洗涤等产业领域,其中半导体行业是公司战略拓展业务,已实现从硅片制备、晶圆前道制造、封装到芯片测试的全工艺温控覆盖。
展位号:9号馆9A15
部分展品

单通道氟化液冷却机
■此机型宽度仅260mm,比一张A4纸宽出50mm丨占地仅约0.23m²,IP44 防护丨25L 大容量液箱丨水冷冷凝直连车间系统,±0.1°℃控温精度 | -30°℃~90℃宽温域,变频驱动,低噪运行≤68 dB(A);优化密封结构+标配吹扫回收,介质损耗可控;
■核心应用场景:
刻蚀工序:助力保障晶圆加工良率
·ESC 静电卡盘温度精准调控,缩小晶圆板面温差
·反应腔体温度稳定管控,等离子体密度均匀分布
·射频电源配套散热,减少机台停机与参数漂移
减少晶圆翘曲、线宽偏移、刻蚀不均,改善刻蚀良率

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