展商推介 | 星奇诚邀您莅临2026湾芯展

星奇（上海）半导体有限公司成立于2021年，是一家专注于集成电路制程工艺领域的高科技企业，致力于超高纯、高精密、高性能工艺流控零部件及高性能电控零部件的研发、生产与销售。公司产品广泛应用于半导体工艺设备、芯片生产线以及气体与化学品输配系统，是国内少数具备研发设计、生产制造、销售服务与全球供应链整合能力的流控领域综合型供应商，产品已在国内先进工艺产线实现批量应用。

高速响应（ALD）阀系列是为原子层沉积、原子层刻蚀工艺开发的专用特种阀门，可高精度控制前驱体气体脉冲输送，实现原子级薄膜沉积与刻蚀加工；超高密封能力保障系统高真空运行，规避气体交叉污染风险；极速开关信号反馈，可靠满足ALD 工艺严苛的时序控制需求。产品适用于 ALD、ALE、CVD、ETCH、EPI、RTP 等对响应速率与气体纯度要求严苛的半导体工艺领域。

手自一体隔膜阀系列属于隔膜阀的一种，融合手动操作与自动控制两大功能模式，既支持现场手动启闭调节，也可配置气动或电动执行机构接入系统，实现自动化控制。产品适用于CVD、ETCH 等反应介质复杂多样的半导体制程设备机台。

数显压力开关系列是专为半导体制造工艺设计的高精度、高洁净、高可靠的压力监测部件。该系列产品高度集成压力传感、信号处理、数字显示与多类型信号输出功能，能够实时监测工艺气体、真空环境、冷却及工艺液体的压力参数，现场可通过数字屏幕直观展示压力读数，可按照设定阈值输出开关信号；部分产品型号还配备通信接口，轻松实现远程监控与数据回传，适配半导体自动化产线管控需求。