官宣！ 第九届国际先进光刻技术研讨会（IWAPS 2025）落户湾芯展，同期举办！

第九届国际先进光刻技术研讨会(IWAPS)将于10月14-15日在深圳与湾芯展同期举办！本次研讨会由中国集成电路创新联盟、中国光学学会主办，中国科学院微电子研究所、深圳市半导体与集成电路产业联盟（深芯盟）、南京诚芯集成电路技术研究院有限公司联合承办，诚邀全球业界精英共赴这场光刻技术领域的学术盛宴！

国际先进光刻技术研讨会（IWAPS），依托中国创新沃土，搭建全球交流平台。在国内外光刻专家的鼎力支持下，在全球企业、高校、协会等的共同推动下，IWAPS持续构建覆盖光刻设备、工艺制程、计量检测、掩模材料、计算光刻、系统协同优化及新型技术等全产业链的尖端技术对话平台。

本届盛会特别依托深芯盟的产业集群优势，汇聚深圳及湾区半导体企业、高校与科研机构的协同力量；同时联动湾芯展的产业生态资源，为全球领军企业提供展示创新蓝图的舞台，为科研院所搭建核心技术攻关的交流通道，为青年学者创造技术思辨的活跃氛围，更为投资机构提供洞察粤港澳大湾区半导体机遇的前瞻窗口。

第九届IWAPS计划于

2025年10月14-15日在深圳

与湾芯展同期举办

请于10月13日报到

欢迎各位学术和产业届的朋友

莅临指导，积极投稿演讲

SPIE（国际光学工程学会）成立于1955年，是一个致力于光学和光电子学的国际专业组织。总部位于美国华盛顿州贝灵厄姆，SPIE的使命是推进光学和光电子技术的科学、应用、教育和商业。SPIE每年举办多个国际会议和展览，为科学家、工程师和企业提供展示最新研究成果和技术的平台。此外，SPIE Digital Library是全球最大的光学和光电子学文献数据库之一，提供了丰富的学术期刊、会议论文集和书籍，覆盖光学、光电子学、激光技术、生物医学光学等领域。这些资源和活动不仅促进了全球光学和光电子学的发展，也推动了创新技术的应用和专业人才的培养。

本届IWAPS接收论文将被

送检SPIE Digital Library及EI

欢迎大家踊跃报名！

i. Optical Lithography

ii. Emerging Patterning Technologies

iii. Metrology, Inspection and Testing

iv. Computational Lithography

v. Design and Technology Co-optimization and Design for Manufacturability

vi. Materials

vii. Process

摘要要求

摘要必须清楚地描述论文的性质、研究主题、研究内容、组织结构、要点以及研究意义。且用英文撰写。

摘要必须包括以下内容：论文标题、关键词、作者的姓名、所属单位、邮件地址和通讯地址。摘要的字数不应超过500个单词。对研究内容的细节的描述将增加稿件被接收的可能。同时，我们强烈建议在提交的摘要中使用图表。

摘要截至日期：2025年7月31日

摘要提交邮箱：

iwaps_program@ime.ac.cn

摘要录用通知日期：2025年8月21日

全文要求

论文摘要被接收后，作者需要按照全文模板的要求提交最终论文。论文全文模板参考SPIE会议标准模板。论文投稿方式待系统开通后公布（将使用SPIE投稿系统，请务必注意时间节点）。若有问题，欢迎联系会务邮箱：iwaps_program@ime.ac.cn。

本届会议论文将被送检SPIE Digital Library及EI，请务必在截止日期前投稿全文，否则不予送检，请严格参考模板格式。

全文提交截止日期 2025年9月30日

IWAPS 2020： 

https://ieeexplore.ieee.org/xpl/conhome/9286788/proceeding

IWAPS 2021：

https://ieeexplore.ieee.org/xpl/conhome/9670881/proceeding

IWAPS 2022: 

https://ieeexplore.ieee.org/xpl/conhome/9971792/proceeding

IWAPS 2023: 

https://ieeexplore.ieee.org/xpl/conhome/10365714/proceeding

IWAPS 2024: 

https://www.spiedigitallibrary.org/conference-proceedings-of-SPIE/13423.toc

IWAPS 2025 会议筹备工作已经展开

更多信息，敬请关注会议官网

www.iwaps.org/cn

深圳市半导体与集成电路产业联盟(SICA)(简称“深芯盟”)是在深圳市委、市政府决策部署支持下，深圳市发展改革委、市国资委指导设立的开放性公益性生态联盟,由深重投集团牵头会同20余家产业链各环节龙头单位发起成立，秉承“服务国家、服务行业、服务会员”使命宗旨,坚持公益性、非营利性经营原则,搭建“政产学研资服用”协同创新平台，服务构建“重大产业项目大树成荫、产业链上下游花草相映”创新生态，助力深圳加快打造国家集成电路产业创新发展高地。

深芯盟依托深圳集成电路广阔的应用市场、重投系重大项目集群等优质资源,谋划实施“12345”发展战略，即围绕打造具有国际影响力的全过程创新型生态联盟一个战略目标，肩负服务“有为政府”和“有效市场”两项功能使命，赋能制造、设计、服务三大产业集群跃升，推动创新链、产业链、人才链、资本链“四链”融合发展，铸造全球知名高端展会、国内顶级生态峰会、湾区权威产业报告、服务深圳招引品牌以及赋能资源对接平台等五大驰名品牌。截止目前，联盟会员企业1400多家,其中市外企业占比超过70%，初步彰显联盟广泛的影响力与蓬勃的生命力。

依托联盟资源，深芯盟策划打造了高端展会品牌——湾芯展。作为深芯盟赋能产业生态的核心载体，湾芯展坚持“市场化、专业化、国际化、品牌化”办展导向，以打造中国半导体产业生态第一展为目标，肩负构建国内国际半导体产业双循环生态枢纽的双重使命。展会聚焦半导体全产业链生态构建，围绕设计、制造、封测三大板块，深化技术、产业、资本、人才四大生态建设，通过“展览展示、峰会论坛、奖项榜单、双招双引、研究报告”五位一体创新模式，全面推动半导体产业生态发展。

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