在1.1mm厚玻璃上实现无微裂纹制作TGV

艾邦半导体网 2025-10-13 18:02

10月12日,据韩媒报道,LaserApps 开发出一种可在 1.1mm 厚玻璃上制作玻璃通孔 (TGV) 的技术。TGV 是将信号传输到半导体玻璃基板的关键元件,该技术在技术难度极高的厚玻璃上成功实现无微裂纹。
在1.1mm厚玻璃上实现无微裂纹制作TGV图2

LaserApps表示,公司利用专有的“等离子熔融 TGV”技术和蚀刻技术,已在1.1mm 厚玻璃上可靠地形成 TGV 孔。就在几个月前,该公司于今年 5月成功在0.14mm 玻璃上制作 TGV,其后在0.7mm 玻璃上实现 TGV。


LaserApps是一家激光技术企业,拥有在玻璃内部制造融化点,加工光滑、稳定的玻璃的自主技术。之前在玻璃基板切割上使用了该技术,但是最近将适用范围扩大到了TGV。

TGV在玻璃基板上形成数十至数百㎛ 大小的孔,用于发送和接收半导体基板信号。由于需要钻出数万个极其微小的孔,该技术极其复杂。尤其需要注意的是,形成这些孔的过程可能会导致玻璃出现微裂纹,从而引发“裂纹”现象,即玻璃基板破碎或撕裂。


LaserApps强调,其熔融技术能够实现无微裂纹的玻璃加工。熔融TGV所形成的孔的圆形程度(震源度)和内部粗糙度也非常优秀。此次TGV采用了LaserApps的激光工艺和Iconi的蚀刻工艺。


值得一提的是,TGV是在1.1mm 厚度上形成的,因为较厚的玻璃加工难度更大。目前,只有英特尔能够加工厚度超过1mm 的玻璃基板。


LaserApps的熔融TGV技术本月获得专利注册。目前,该公司正在为韩国内外众多半导体玻璃基板制造商加工样品。


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