总投资超50亿元,全国首条8英寸MEMS晶圆全自动生产线投产

半导体芯闻 2025-10-16 18:41
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来源:内容来自SEMI。


据中电二公司官微消息,近日,中国蚌埠传感谷8英寸MEMS晶圆生产线EPC项目首批产品成功下线,标志着全国首条8英寸MEMS晶圆全自动生产线、全国首条工艺设备配套齐全的压电MEMS量产线正式投产。


据悉,华鑫微纳8英寸MEMS晶圆生产线项目由安徽华鑫微纳集成电路有限公司投资建设,总建设投资达50.6亿元,占地约79亩,总建筑面积约6万平方米,定位为国内领先的8英寸MEMS晶圆代工企业以及国内领先的“开放式、定制化MEMS代工平台基地”。


作为国家级重点项目、全部建成投产后,将具备月产3万片晶圆的能力,成为国内产出最大的MEMS全自动晶圆生产线。

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