芯片巨头,将豪装近20台EUV光刻机!

旺材芯片 2025-12-24 17:38
 
 
 
 
 
 

英特尔正努力在制程技术和全球先进产能方面追赶台积电,但在美国市场,这家芯片巨头仍然无人能敌。据报道,英特尔的Fab 52工厂比台积电目前的Fab 21一期和即将投产的Fab 21二期工厂更为先进,其产能相当于这两个工厂的总和。

芯片巨头,将豪装近20台EUV光刻机!图3

英特尔Fab 52工厂旨在生产采用英特尔18A(1.8nm级)及更先进工艺技术的芯片,这些工艺技术使用环栅(GAA)RibbonFET晶体管以及PowerVia背面供电网络。该工厂的产能为每周1万片晶圆,满负荷运转时每月约4万片晶圆*(WSPM),按如今标准来看,这确实是一个非常庞大的晶圆厂。

据@IntelProMUltra观察,目前,Fab 52配备了四台ASML Twinscan NXE低数值孔径EUV光刻系统,其中包括至少一台NXE:3800E ——ASML最先进的低数值孔径EUV光刻机,它借鉴了下一代高数值孔径EUV光刻机的晶圆处理装置、更快的晶圆平台和光源,因此在30 mJ/cm² 的剂量下,每小时可处理多达220片晶圆。该工厂还拥有三台NXE:3600D系统,在30 mJ/cm²的剂量下,每小时可处理160片晶圆。

此外,英特尔在亚利桑那奥科蒂洛的“硅沙漠”园区预留了至少15台EUV光刻机的安装空间,未来可能引入更高数值孔径(High-NA)机型,进一步巩固技术壁垒。

与台积电Fab 21一期工程(采用台积电N4和N5工艺生产芯片)相比,英特尔Fab 52能够采用更先进的制程节点(低至1.8nm及以下)生产芯片,并且每月晶圆处理量是其两倍。但尽管技术领先,Fab 52的量产进度仍受制于18A制程的良率爬坡。目前该工厂正小批量试产搭载18A技术的“Panther Lake”处理器,但英特尔预计需至2027年初才能使良率达到行业顶尖水平。在此之前,Fab 52的CPU产能将受限,部分产线可能处于闲置状态。反观台积电,其美国工厂采用成熟制程快速量产策略,可迅速实现接近满载的利用率。

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