公司是国内领先的半导体设备核心零部件供应商，主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源、各种配件的研发、生产、销售及技术服务，并引进真空获得和流体控制等相关的核心零部件，围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案。
公司自主研发的第二代产品 Bestda 系列等离子体射频电源系统可支撑 28 纳米制程，第三代产品 Aspen 系列等离子体射频电源系统可支撑 14 纳米制程，达到国际先进水平，填补国内空白。公司产品已实现量产交付拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等国内头部半导体设备商，并配套中芯国际、长江存储等国内晶圆厂，在国内半导体领域系首家出货过亿元和首家实现等离子体射频电源系统（支持半导体先进制程）量产的国产厂商。
公司打破多年来海外巨头在国内等离子体射频电源系统领域的垄断格局，能与海外巨头同台竞争，并不断扩大市场占有率。根据弗若斯特沙利文统计，2023 年中国大陆半导体行业等离子体射频电源系统的市场规模为 58.4 亿元。
中国大陆半导体行业等离子体射频电源系统的市场仍呈现海外巨头 MKS 和 AE 高度垄断的竞争格局。公司半导体级等离子体射频电源系统于 2018 年开始研发、2020 年下半年开始批量交付，报告期内已实现大规模收入，产品性能获得市场认可。根据弗若斯特沙利文统计，2023 年在中国大陆半导体行业国产等离子体射频电源系统厂商中，恒运昌的市场份额位列第一，市场地位领先。
1、项目概况
本项目实施地位于深圳市宝安区，拟购置场地进行研发中心建设，通过购置先进研发设备、引进高端研发人才等方式，进行下一代等离子体射频电源及匹配器、电源类新品、质量流量计、等离子体设备相关衍生产品等产品及技术的研究。
2、项目实施主体及用地情况
本项目由深圳市恒运昌真空技术股份有限公司实施，实施地点位于广东省深圳市宝安区新桥街道万丰中路与南环路交汇处，公司拟通过购置房屋用作实施本项目。公司已与深圳市海岸新城投资有限公司签署《物业定制合作协议》，双方就公司拟购买房屋用于项目建设达成意向。
3、项目投资情况
本项目总投资 36,267.07 万元。
4、项目实施规划
本项目的建设期为 2 年（24 个月）。
5、项目备案及审批情况
本项目已取得深圳市宝安区发展和改革局出具的《深圳市企业投资项目备案证》（深宝安发改备案（2024）1817 号）。根据深圳市生态环境局宝安管理局出具的《豁免类建设项目告知回执》（编码：BA202410000015），本项目豁免办理环评审批。
6、项目环境保护情况
本项目建设内容为相关产品的研发及实验测试，不同于常规生产性项目，不存在废气、废水、废渣等工业污染物。本项目施工规模较小，以办公场所装修及设备安装为主，不涉及土建工程、运输物料等，无重大污染。
7、未来发展规划及措施
（1）持续研发与创新，保持和提高技术先进性，不断提升工艺水平和产品性能
公司将始终以客户需求作为技术研发导向，密切追踪最新的技术及发展趋势，持续增加研发投入，不断完善研发管理机制和创新激励机制，搭建更好的研发环境，开展对先进技术、先进工艺的研究，加快产品创新，为技术突破和产品升级提供重要的基础和保障。
公司将不断丰富公司产品和技术储备，根据下游客户需求快速形成产品和应用解决方案，持续推进产品的更新迭代，加快推动更先进工艺制程等离子体射频电源系统的产业化应用，为客户提供性能更优、可靠性更高的产品，在迅速崛起的中国大陆半导体市场构筑优势地位，助力公司长期稳定发展。此外，公司还将充分发挥研发和技术优势，结合市场发展前景和目标客户需求，不断进行新产品的研发设计。
在应用领域方面，公司积极推动主营业务产品向光伏、显示面板、精密光学等领域的拓展；在产品布局方面，公司将采取双轮驱动策略。通过内生研发和择机对外收购的方式，持续优化现有产品，提升性能与质量，并拓宽产品品类，开发低频大功率等离子体射频电源、远程等离子体源、直流溅射电源等产品，形成新的利润增长点，不断增强公司持续盈利能力、核心竞争力和抗风险能力。
（2）充分借力资本市场，重点加强先进产品产能建设
针对现有生产场地和设备不足严重制约公司产能的问题，公司将在现有生产模式的基础上，使用资金在沈阳新建半导体射频电源产业化中心，在深圳扩建半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地，引进性能更优、智能化水平更高、更先进的生产制造设备、测试设备及仓储系统，并结合生产车间及数据管理系统软件，实现生产制造、经营、管理和决策的智能优化，向模块化、智能化、数字化生产制造车间迈进，从而提高产品生产效率，扩大公司产销规模，满足不断增长的市场需求并解决公司产能瓶颈问题，提升公司整体运营效率，促进公司业绩增长，稳定公司的行业地位以及进一步提升核心竞争力。
（3）以客户为中心，提升技术服务，加强多元化市场开拓
公司始终以客户为中心，密切关注客户需求，强化与客户设计研发的沟通合作，持续收集下游行业市场与技术动态信息，同时进一步加强公司技术销售与技术服务，重点加大培养既懂专业技术又有销售服务能力的技术精英，提供在产品及技术应用、销售专业技能、产品技术服务等全方位的培训，确保公司在产品技术路线交流、销售、服务、信息反馈等环节为客户提供专业化的技术支持服务和解决方案。
公司通过设立沈阳子公司和北京子公司，加强公司在东北、华北地区的业务开拓，发挥产品生产、区域业务协调、品牌建设、资源整合、客户维护、吸引高科技及技术人才、强化科研能力等功能，统筹区域内优势资源，扩展业务服务半径。未来公司将逐步在上海、武汉等重点区域设立分支机构，完善区域布局，进一步提高对行业头部客户的服务能力以及对重点市场的挖掘和渗透能力。
公司还将加速推进境外业务拓展，拓展中国大陆以外的市场，包括优先组建中国台湾、欧洲的销售网络，布局相关地区客户，实现产品在中国大陆区域以外的销售，助力半导体设备核心零部件从“引进来”到“走出去”。公司将持续积极拓展半导体、光伏、显示面板、精密光学及其他领域优质的客户，不断加强公司在各领域的发展并扩大业务规模，增强公司核心竞争力。
（4）加强高端人才引进，实现可持续发展人才梯队建设
公司根据业务发展需求，制定短期、中期和长期相结合的人力资源规划，建立、健全公司科学化、规范化的人力资源管理系统，全面提升员工素质及公司管理水平与业务水平。公司根据未来技术发展规划和现有人才储备状况，将不断加强人才队伍的建设工作，通过各种方式重点激励在技术研发、产品创新、专利申请等方面做出贡献的研发人才。
公司还将持续引进各类专业人才，包括招募更多具备前瞻性、共性基础技术研究能力的技术人才，注重国内外高端专业技术人才、各领域高端管理人才的引进，优化人才结构。公司将进一步加强人才梯队建设，坚持内部培养和外部招聘相结合的战略方针，加大人力资源成本投入，优化并完善更具竞争力的薪酬福利体系，吸引更多优秀人才，打造一流的人才队伍，满足公司快速发展的需要。
此外，公司还将进一步扩大与有关高校科研院所的合作，以实训基地、校外实验室、联合实验室、研究生联合培养站点等为载体，丰富产、学、研、训多种合作模式，内外并举，实现公司未来可持续发展。
（5）提升公司治理水平，推进收购兼并及全球化计划
公司将严格遵守《公司法》《证券法》等法律法规要求，不断加强规范运作，持续优化适应公司高效灵活运作的治理结构，健全科学有效的决策机制、风险防范与风险抵御机制，确保公司各项业务高效快速开展。在产品布局方面，公司将采取双轮驱动策略开展。通过内生研发，持续优化现有产品，提升性能与质量，并拓宽产品品类；同时，借助外部并购等战略举措，公司发展成为围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案的平台型公司，为客户提供一站式的产品和服务。国际化是公司未来发展的核心战略之一。
公司将从深耕国内市场起步，逐步拓展国际市场，以全球化视野整合资源，提升品牌影响力。通过持续的技术创新与卓越的产品服务，公司致力于成为围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案的平台型公司，并力争在未来跻身国际一流的半导体设备核心零部件全球供应商行列。
此为摘取部分，完整版根据发改投资规【2023】304号国家发改委关于印发投资项目可行性研究报告编写大纲要求，可定制化编制政府立项审批备案、国资委备案、银行贷款、产业基金融资、内部董事会投资决策等用途可研报告。
目录
第一章 概述
1.1 项目概况
1.1.1 项目名称
1.1.2 项目建设性质
1.1.3 项目拟建地址
1.1.4 项目建设内容及规模
1.1.5 项目建设工期
1.1.6 项目投资估算及资金筹措
1.1.7 项目生产规模
1.2 企业概况
1.3 编制依据及研究范围
1.3.1 编制依据
1.3.2 研究范围
1.3.3 编制原则
1.4 主要结论和建议
1.4.1 主要结论
1.4.2 建议
第二章 项目建设背景、需求分析及产出方案
2.1 项目背景
2.2 项目建设的必要性
2.2.1 有利于优化区域产业结构，产业发展完善
2.2.2 项目建设是公司规模扩展，全球发展战略的重要组成部分
2.2.3 增加产能，提高公司盈利水平
2.2.4 有利于提高公司的行业竞争力及盈利能力
2.2.5 提升生产信息化和自动化水平，为业务发展和高效管理赋能
2.3 项目建设的可行性
2.3.1 国家政策推动行业的发展
2.3.2 公司拥有优质的客户资源及良好品牌认可度
2.3.3 行业经验丰富，技术协同优势显著
2.3.4 优秀的人才队伍和管理体制为本项目的顺利实施提供了基础保证
2.4 市场需求分析
2.4.1 市场需求分析：通过量化目标市场的消费需求，预测产品的潜在销售量及增长趋势
2.4.2 市场供给分析：评估现有及潜在竞争者提供的同类产品数量，识别供给缺口或过剩
2.4.3 市场竞争分析：研究行业竞争格局，包括市场份额分布、主要竞争对手策略及进入壁垒
2.4.4 项目产品分析：结合产品特性（如价格、质量、功能）与市场需求匹配度，判断其竞争力
2.4.5 市场综合分析：整合供需、竞争及产品数据，形成对项目整体可行性的判断
2.5 项目建设内容、规模和产出方案
2.5.1 项目建设内容及规模
2.5.2 项目产出方案
2.6 项目商业模式
2.7 项目对我国国家利益和国家安全的影响分析
第三章 项目选址与要素保障
3.1 项目选址方案
3.1.1 项目选址的原则
3.1.2 项目选址需求
3.1.2 选址方案的初步拟定
3.2 项目建设条件分析
3.2.1 概况
3.2.2 政治
3.2.3 经济
3.2.4 项目投资地营商的主要优势
3.2.5 投资激励
3.2.6 经贸情况
3.2.6 法律法规
第四章 项目建设方案
4.1 技术方案
4.1.1 原料路线确定原则
4.1.2 生产工艺技术路线确定原则
4.1.3 技术先进性
4.1.4 生产工艺流程
4.1.5 主要原辅材料耗量
4.2 设备方案
4.3 工程方案
4.3.1 给排水工程
4.3.2 变配电工程
4.3.3 消防工程
4.3.4 火灾报警及消防控制系统
4.3.5 通信工程
4.3.6 室外管网等配套工程
4.4 数字化方案
4.4.1 工业化生产可靠性分析
4.4.2 技术管理及特点
4.4.3 建筑智能化
4.5 建设管理方案
4.5.1 项目建设期管理
4.5.2 公司注册及审批流程
4.5.3 项目审批流程
4.5.4 项目申报
4.5.5 项目实施进度计划
第五章 项目运营方案
5.1 生产经营方案
5.1.1 采购模式
5.1.2 生产模式
5.1.3 销售模式
5.1.4 研发模式
5.1.5 影响公司经营模式的关键因素
5.1.5 燃料动力供应保障
5.2 安全保障方案
5.2.1 危害因素和危害程度分析
5.2.2 安全措施方案
5.2.3 消防设施
5.3 运营管理方案
5.3.1 人力资源配置
5.3.2 人员培训
5.3.3 员工退场
第六章 项目投融资与财务方案
6.1 投资估算
6.1.1 投资估算范围
6.1.2 项目投资估算
6.1.3 资金使用和管理
6.2 盈利能力分析
6.2.1 基础数据与参数选取
6.2.2 编制依据
6.2.3 收入测算
6.2.4 成本核算
6.2.5 利润核算
6.2.6 财务评价分析
6.3 财务可持续性分析
6.3.1 不确定性分析
6.3.2 偿债能力分析
6.3.3 评价结论
第七章 项目影响效果分析
7.1 经济影响分析
7.2 社会影响分析
7.3 生态环境影响分析
7.3.1 施工期环境影响分析
7.3.2 营运期环境影响及环保措施
7.3.3 环境保护的建议
7.3.4 环境影响评价结论
7.4 资源和能源利用效果分析
7.4.1 项目能耗情况
7.4.2 节能措施及效果分析
7.4.3 管理节能措施
7.4.4 资源和能源利用效果分析结论
第八章 项目风险管控方案
8.1 工期风险
8.2 质量风险
8.3 市场竞争加剧的风险
8.4 市场波动风险
8.5 政策风险
8.6 政治风险
第九章 思瀚产业研究院结论与建议
9.1 主要研究结论
9.2 建议
附件：财务分析过程
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