尼康CEO放话硬刚ASML:靠自研零部件打价格战,ArF光刻机订单谈判已近尾声

科技区角 2026-05-29 15:02

【区角快讯】当全球半导体设备市场被荷兰ASML牢牢掌控,无论是极紫外(EUV)还是深紫外(DUV)领域,这家巨头似乎已无对手。然而,曾经的霸主日本尼康并未选择退场,反而准备在ArF光刻机赛道发起一场激烈的价格反击战。



新任首席执行官大村康弘近期透露,公司正试图以低于ASML的报价策略,争夺新的ArF光刻机订单。这一底气并非空穴来风,而是源于尼康极高的零部件自产率,这使其在成本控制上拥有独特优势。据悉,尼康目前正与美洲及亚洲的多位主要芯片制造商紧密磋商,采购协议即将落地。

从技术维度看,ArF光刻机属于DUV中的高端品类,采用193nm波长,分为干式与浸没式两种工艺。其中,浸没式机型如ASML的1980i和2000i系列,不仅是国内近年进口的主力,更是配合多重曝光技术实现7nm制程的关键设备。即便在EUV普及的今天,出于成本考量,非核心层仍大量依赖ArF设备,其市场需求依然旺盛。

回望历史,佳能、尼康曾凭借光学底蕴在光刻机领域占据统治地位,英特尔早期高达80%的设备采购量便来自尼康。颇具讽刺意味的是,这种过度依赖或许让英特尔在DUV向EUV转型的窗口期犹豫不决,进而导致其在过去十年中逐渐落后于台积电。

尽管市场份额萎缩,但尼康在CD均匀性等光学指标上仍保有竞争力。若能提供比ASML低20%-30%的价格,对于晶圆厂而言,这意味着巨大的资本支出节省。将尼康设备作为ASML产线的“高性价比搭档”,或许是打破单一供应商垄断、优化供应链韧性的务实之选。

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