星柯光电首款自主TGV玻璃载板正式下线

艾邦半导体网 2026-08-11 18:01

8月11日,星柯光电发布首款 TGV 玻璃载板。TGV玻璃载板依托自研基材的低介电损耗、定制化热膨胀系数特性,搭配高深径比、低接触电阻、高结合力的精密通孔工艺,相比传统有机与硅基基板,高频损耗更低、集成密度更高、热匹配性更优。可广泛适配CPO算力封装、毫米波射频器件、MEMS气密封装等高端场景,为先进封装提供高可靠的国产化三维集成方案。

星柯光电首款自主TGV玻璃载板正式下线图1

图1 星柯光电TGV玻璃载板下线

  • 产品核心制程指标达到国内先进水平,核心工艺指标如下

  • 通孔工艺:最小通孔直径20μm,深宽比可达8:1,通孔接触电阻≤5mΩ,铜柱与玻璃侧壁拉伸附着力≥20MPa,通孔合格率≥99%。

  • PVD工艺:采用Ti/Cu复合种子层,整片厚度均匀性≤±5%,深孔内壁台阶覆盖率≥80%.

  • 电镀工艺:精密填铜无空洞,铜面粗糙度Ra≤0.2μm,镀层厚度均匀性≤±10%。

星柯光电首款自主TGV玻璃载板正式下线图2

图2 金相显微镜检测效果图(为8:1 TGV玻璃载板)

据了解,星柯光电是国内领先 TGV 半导体显示基材制造商,研究院聚焦TGV 技术研发、材料生产与工艺开发,提供从基材到成品的一体化先进封装解决方案,致力于成为全球 TGV 领域核心供应商。


4月29日,星柯光电以与浙江大学HOE项目验收为契机,拓展 TGV 先进封装、新型透明显示等前沿领域。星柯光电研究院目前已与肖文博士团队达成合作,双方围绕TGV玻璃通孔与电镀等核心工艺已全面展开技术与产品工艺开发,共同推动产业化落地。

消息来源:星柯光电官微,侵删

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