展商推介 | 海洋光学Ocean Optics将亮相2026湾芯展

海洋光学（Ocean Optics）创立于1989年，是微型光纤光谱仪的发明者。海洋光学业务包括三大类型：模块化产品，光谱系统和定制业务。微型光纤光谱仪采用折叠光路、光纤传导、阵列式探测器等技术，体积小巧，检测快速，非常适合在线、原位、便携等应用领域。

在半导体领域，光谱仪作为关键工艺控制设备，广泛应用于刻蚀终点监控、膜厚测量及PVD/CVD等离子体监测等核心环节。海洋光学的光谱仪凭借高灵敏度、高信噪比、高分辨率、高重复性，可选热电制冷以及多样化的采集模式帮助用户实现实时监控与工艺优化，守护每一片晶圆的制造良率。适配6-12寸晶圆制程，具备长期稳定性与Fab环境适应性，提供高效、可靠的方案。

■QE Pro为多功能高灵敏度光谱仪，搭载背照式 CCD 探测器，量子效率高，配备板载缓存保障高速采集时数据完整性；可选配内置快门抑制暗噪声，狭缝可更换，灵活匹配各类测试需求，同时提供标准预配置型号与定制化型号两种选择。QE Pro电子噪声极低，全场景检测灵敏度优异。

■Ocean FX 最高采集速度可达每秒 4500 次，搭载板载模式可提升信噪比、缩短数据传输耗时；支持 USB、千兆以太网、Wi-Fi 三种通信方式，通讯能力强大；板载缓存可存储 50000 组完整光谱。

■本产品为易集成模块化光谱仪，可同时满足高速采集、多通信协议、板载运算模式等使用需求，十分适合快速检测场景：等离子体监测、产线过程监控与质量控制、OEM 设备定制开发。

■Ocean SR系列是海洋光学通用型光纤光谱仪，体积小巧，用途广泛，采用行业先进的生产制造技术，确保了优异的性能和台间差，适合严苛的工业大批量应用，同时也兼顾实验室使用。预配置型号可根据应用选择狭缝宽度（5μm-200μm），帮助用户调节光通量和光学分辨率，以满足不同的测量需求。

■SR系列包括三种型号SR2、SR4和SR6，用户可根据不同应用和需求选择不同型号和配置的光谱仪。