展商推介 | 协微环境将亮相2026湾芯展

上海协微环境科技有限公司是一家致力于工艺废气处理设备、真空泵及加热带等附属设备研发、生产、销售及服务的环境友好型企业，运用多年行业应用经验，为客户提供专业的工艺废气处理设备选型配置方案及运维指导。

作为国内专注于泛半导体行业附属设备解决方案的优秀供应商，协微环境秉承“融汇世界领先科技，服务中国先进制造”的理念，积极响应国家绿色环保号召，持续开发符合泛半导体行业绿色生产需求的产品。

通过弧光放电产生等离子火焰（超过3000℃ ），从而处理易燃易爆，有毒的以及PFC气体（温室气体）

主要特性:

低功率，高性能

出色的PFC气体处理效率

通过配置静电除尘系统，达到超过99%的副产物颗粒处理效率

等离子火炬使用寿命长

出色的防腐蚀设计

自动模式，使用简便

主要应用行业：Semi、FPD、Solar、LED

主要应用工艺：Etch/CVD等