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公司简介
飞卓科技（上海）股份有限公司成立于 2004 年，是一家集自动化、智能化、物联网领域于一体的系统解决方案商。公司专注于物液位、温度、压力、流量、分析等精密仪表及传感器的自主研发与自主生产，产品广泛应用于半导体、光伏等高端制造领域。
历经 22 年传感技术积累与工艺沉淀，飞卓科技已成长为半导体洁净环境下"传感与测量"的专业伙伴，致力于成为中国智能工厂整体解决方案的领先服务商。
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硬核实力
●自主研发 · 自主生产：从传感元件到整机，全链条自主可控
●洁净制造体系：千级（ISO 6 级）+ 百级（ISO 5 级）洁净车间，配备 ICP-MS、超纯水系统、超声清洗、氮气烘箱、Swagelok 焊机等专业产线设备
●符合半导体规范：产品对标SEMIF系列多项标准（F1/F19/F20/F36/F37/F49.6/F49.9/F60/F70/F72/F73/F77/F83/F86）
●质量与资质：通过 ISO 9001 / ISO 14001 / ISO 45001 体系认证；累计获24 项发明及实用新型专利、27 项软件著作权
●企业荣誉：上海市专精特新企业、小巨人企业、瞪羚企业；与中科院开展战略合作
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主推产品
围绕半导体高纯工艺的"液位—压力—流量—真空"全链条测量需求，本次大会飞卓科技将重点展示六款核心产品：
1、SCL3100超声（多点式）液位系统
面向 PVD / CVD / ALD 等工艺的起泡瓶、安瓶内高纯化学品液位测量。
一体式设计｜安装便捷无需校准｜测量精度高｜可按需定制
2、SGP6100高纯气体压力变送器
适用于半导体高纯气体管路的压力精密监测。
高精度测量｜高洁净等级｜多接口可选｜IP65 防护
3、SGC7100气体质量流量控制器（MFC）
用于工艺气体质量流量的精确测量与控制。
多量程多气体｜高精度高稳定性｜快速响应｜零点漂移小
4、FUM21 管夹式超声波流量传感器
面向超纯水、冷却水等水基流体的非侵入式流量监测。
非入侵式安装｜广泛的管材兼容性｜测量精度高｜无压力损失
5、FVG 金属薄膜真空计
面向半导体真空工艺的总压测量。
精度可达 0.25%｜宽量程测量｜快速响应
6、LLM-A10激光液位计
面向复杂、狭小、高温工况的非接触液位测量。
极端高温适应性｜狭小空间易部署｜高精度闭环控制｜多量程灵活覆盖
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大会现场，等你来聊
诚邀您到飞卓科技展位：
●现场观摩超声（多点式）液位系统、高纯气体压力变送器、金属薄膜真空计等实物样机
●与飞卓工程师一对一探讨您产线上的液位、压力、流量、真空测量难题
●领取半导体行业解决方案资料
●联系方式：400-778-0918
