展商推介 | 辰仪测量将亮相2026湾芯展

上海辰仪测量技术有限公司成立于2021年，致力于真空测量领域高品质、高精度真空计的设计、研发、生产和销售，并能够为广大客户提供专业的真空测量和分析的整体解决方案。

真空测量和分析对许多领域的设备制造商和最终用户意义重大，包括半导体、光伏、平板显示器、一般工业真空、镀膜等领域。

我们的产品和技术在生命科学、科研、航空航天、包装、热处理、激光和许多其他领域也都获得了广泛的应用。

公司总部位于国家G60科创走廊的上海市松江区启迪科技园，公司主要团队均来自真空行业研发和产品线，对真空技术在过往多年的发展变迁，真空测量及应用具有多年的累计经验。

■用于高精度测量真空度，多用于在Etch、PVD 等机台，用于对标 MKS62X、E 系列，量程：0.1·····1000Torr，温包：常温、45℃、100℃、150℃ 。

■用于高真空段真空度测量，用于镀膜、离子注入机台，对标 INFICON APG100，量程 1.0E+0—1.0E-7Pa 。

■用于皮拉尼段和高真空段真空度测量，用于镀膜等机台，对标 INFICON MPG400，量程 1.0E+5Pa—1.0E-7Pa 。

■用于高精度测量真空度，多用于在Etch、PVD ，等机台，对标 INFICON CDG 系列，量程：0.1·····1000Torr，温包：常温、45℃、100℃、160℃、200℃ 。

■用于对1个大气压和粗真空、中真空段高精度测量，对标INFICON PCG550，一般在半导体 Load lock 应用。

■用于腐蚀性高的粗真空、中真空高精度测量，对标 MKS902B，优点：对比皮拉尼真空计耐腐蚀性更高，对比皮拉尼真空计精度更高（压阻真空计精度 0.3%）。