光子集成电路新突破!超低损耗光波导可见光性能提升20倍

全球半导体观察 2026-08-26 14:18

近日,加州理工学院(Caltech)在光子集成电路(PIC)领域取得突破性进展。研究团队成功在8英寸和12英寸硅晶圆上,制造出具备超低损耗的光波导,使其在可见光波段的信号损耗逼近传统光纤水平。


这项突破有望推动新一代高相干性和高能效光子集成电路(PIC)的发展,其潜在应用范围广泛,涵盖光钟、陀螺仪、人工智能数据中心通信以及量子计算等领域。


以往硅基光子技术多依赖氮化硅材料。本次研究团队则创新性地采用了制造光纤的“锗硅酸盐”(Germano-silicate)玻璃材料,并将其与适用于晶圆制造的标准光刻工艺相结合。由于该材料熔点较低,研究人员能够通过“热回流”(reflow)工艺将波导表面平滑度提升至原子级别,从而大幅抑制了困扰传统可见光集成电路的光散射损耗。


本次研究成果在损耗、相干性、集成度等方面取得了巨大进展。


  • 损耗降幅显著:在可见光波段,这一全新平台的性能一举打破此前纪录,比目前最优秀的传统氮化硅器件提升了20倍。


  • 相干性飙升:得益于损耗的显著降低,基于该平台制造的激光器,其光相干时间实现了超过100倍的提升。


  • 超高集成度:通过将纳米级波导设计为紧凑的螺旋状,该技术在极小的微芯片面积内,实现了等效于数公里级别的光路传输性能。


研究团队指出,虽然芯片本身只有约2厘米宽,但许多应用都需要以“米”甚至“公里”级别来衡量损耗,因为光在器件内反复循环的总距离,取决于每次绕行时损失有多低。这也是为什么这项成果对高相干激光、芯片级原子传感、光学时钟与离子阱系统都有潜在价值。


  


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