展商推介 | Veecd维德光电将亮相2026湾芯展

湖州维德光电科技有限公司（前身是南浔吉益石英仪器厂），坐落于华东长三角中心，在太湖南岸——浙江省湖州市吴兴区，我公司专业生产研发各类半导体芯片制程用石英玻璃零部件，生产制作石英玻璃器件已经有20多年历史，产品有各类石英舟、石英炉管、石英腔体、石英槽、石英环等半导体设备石英零部件，产品使用于美国应用材料(Applied)、日本东京电子(TEL)、德国爱思强(Aixtron)、北方华创、上海至纯、青岛扩散炉等高端半导体设备。

■该磷酸加热槽为半导体湿法工艺设备专用功能组件，适配晶圆制造湿法清洗 / 蚀刻工序，针对磷酸高温工艺工况设计，集成石英槽体、加热单元、测温传感、耐腐线缆，实现磷酸药液精准控温加热，是湿法设备核心零部件。

■高纯石英腔体，抗磷酸高温腐蚀，不污染晶圆药液，满足半导体洁净要求。多区分区加热，多点热电偶测温，温度采集精准，保障槽体内药液温度均匀稳定。

■线缆、传感元器件选用耐温耐腐规格，适配湿法车间强酸、高温作业环境。

■模块化集成设计，可直接装配到湿法清洗设备，便于设备集成与维护更换。

■半导体芯片湿法清洗，石英槽，清洗槽

■半导体芯片制造，氧化扩散用石英炉管

■半导体芯片制造，氧化扩散用石英舟