2026半导体生态发展大会——【展商风采】北京市华宇博泰科技发展有限公司

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公司介绍

北京市华宇博泰科技发展有限公司拥有 20 多年的配套高纯、超高纯和特种气体分析仪器及配套应用经验。是中国北方区唯一一家半导体 CQC/IQC 分析仪器专业集成商。专业为半导体 IC 等领域提供微量痕量气体分析仪器和分析应用技术的国家高新科技企业、北京专精特新企业、“全国气体标准化技术委员会委员单位”、“全国企业标准化技术委员会分析分会委员单位”、中国仪器仪表学会高级会员单位、《半导体技术》常务理事单位、GB/T37182-2018《气体分析-等离子发射气相色谱法》主要起草单位。

什么是CQC与IQC：

CQC即电子半导体现场连续质量控制系统，安装于纯化器后端，属于半导体生产必备单元，对高纯气体品质和供气单元稳定性进行监测，主要由各种分析仪器，集成机柜及气路元件，通讯系统等组成，对仪器性能和管路及阀门材质都有较高要求。

IQC用于纯化器前端，监测纯化器入口原料气品质，测量纯度指标为ppm级别。

CQC系统的仪器组成：在半导体生产中，对大宗气体的纯度要求较高，随着先进制程的推进，对杂质的检测要求也更高，基本到要求颗粒物控制在0.1μm内，H₂O,O₂,N₂,AR,CH₄,CO₂,CO等杂质浓度≤1ppb，一些特殊先进应用甚至要求监控的杂质浓度≤0.5ppb。这就对仪器的检测性能，分析精度和周期，自身的稳定性以及与系统的兼容能力有了较高要求。

在CQC的常规配置中，每种气体配备一套分析仪，监测对半导体工艺存在潜在威胁的杂质，包括水分析仪，氧分析仪，色谱，颗粒仪。