展商推介 | 光起科技将亮相2026湾芯展

上海光起科技有限公司面向CMP抛光液（Slurry）等半导体材料，提供大颗粒计数（LPC）、粒径分布（PSD）分析及【在线颗粒监测】解决方案。

公司专注于液体颗粒检测仪器的研发、生产与应用服务，旗下Acona系列产品融合单颗粒光学传感（SPOS）与自动稀释技术，支持超高浓度浆料检测，覆盖0.5–400 μm粒径范围，具备1024通道高分辨率粒径分析能力，帮助客户识别平均粒径指标难以反映的低含量大颗粒与团聚异常，服务于材料研发、来料检验、过滤效果评价及工艺质量控制。

■面向CMP研磨抛光液（Slurry）等高浓度复杂液体样品的实验室离线检测，可用于粒径分布（PSD）尾端大颗粒、团聚体、凝胶颗粒及异常颗粒的数量统计。

■仪器采用单颗粒光学传感（SPOS）与自动稀释技术，粒径检测范围覆盖0.5–400 μm，支持最高1024个粒径通道，可处理原液颗粒浓度最高达10¹¹个/mL的样品。

■适用于浆料来料检验、过滤前后对比、储存稳定性评价、异常批次排查及CMP slurry大颗粒计数（LPC）方法建立。

■面向光刻胶（Photoresist）等高黏度液体，提供实验室离线大颗粒计数（LPC）分析。

■仪器采用精密增压取样模块，结合单颗粒光学传感（SPOS）技术，粒径检测范围覆盖0.5–400 μm，支持最高1024个粒径通道，可按指定粒径区间或阈值输出颗粒数量浓度，为大颗粒、凝胶颗粒及团聚体的检测提供量化数据。

■适用于光刻胶配方研发、储存稳定性评价、批次一致性检查及异常颗粒排查。

■面向在线监测和设备集成场景，可部署于过滤前后、循环供液回路或 POU 端，用于 CMP slurry 等工艺液中的 LPC 趋势监控和异常预警。仪器粒径检测范围覆盖 0.5–400 μm，支持最高 1024 个粒径通道，样品浓度限值可达 10¹¹ 个/mL。

■适用于过滤器状态评估、输送管路洁净度监控、工艺端颗粒风险控制及连续过程质量监测。

■面向实验室颗粒计数与粒度分析场景，可用于 CMP 浆料、抛光液、微球、混悬液等样品的颗粒数量统计和粒径分布分析。

■仪器粒径检测范围覆盖 0.5–400 μm，支持最高 1024 个粒径通道，自动稀释模式下样品浓度限值可达 10⁹ 个/mL。

■适用于研发测试、批间一致性评价、过滤方案比较及常规质量控制。