展商推介 | 中科艾尔将亮相2026湾芯展

公司成立于2008年，始终致力于集成电路超洁净气体管阀件研发、制造与销售。历经近二十年发展，公司已成功攻克行业核心关键技术壁垒，打破国外长期“技术封锁”，产品填补了国内相关领域空白。公司现已成为国家专精特新“小巨人”企业、国家高新技术企业、北京市企业技术中心，承担两项国家级重大科技专项，并成为率先通过12英寸晶圆厂特气系统（HBr特气）验证、率先完成国产化验证的企业。

公司主导产品——集成电路超洁净气体管阀件，形成覆盖气体存储、输送、控制、分配全环节的产品矩阵，满足14纳米及以下制程工艺要求，为集成电路设备厂商和晶圆制造企业提供可靠的超洁净气体传输保障。

QPV/QPVH 系列隔膜阀，膜片式硬密封，超低漏率，长寿命，快速响应，可选耐高温；可选流量系数 0.35 和 0.8，适用于原子层沉积（ALD）工艺，可精细的控制气体用量。适用于超高纯度气体，大部分半导体用（毒、腐）气体。

利用平面密封技术，在更紧凑的气体面板上构建气体输送系统。每个表面安装组件遵循 SEMI 标准，可根据需求形成不同的配置形式。维护时，仅需在面板上方进行操作，简单方便.MGDS 系列配套专用的减压器、隔膜阀、单向阀、底座及零部件。

Qa系列调压阀采用紧凑型波纹管式设计，全焊接结构，无对外泄漏点；阀体选用316L VIM-VAR超高纯不锈钢，内部经电抛光处理；采用束缚式提升阀芯，确保可靠关断；适用于超高纯度气体，半导体用（毒、腐）气体，满足超大规模集成电路的工艺气体要求。可适用于容器内负压输出工况，保障气体输送的安全性。