芯钛科将亮相湾芯展
2026湾芯展将于10月14-16日在深圳会展中心(福田)盛大举办,届时芯钛科半导体设备(上海)有限公司/衡鹏集团将亮相9号馆9A03展位,诚邀产业同仁莅临观展!
芯钛科半导体设备(上海)有限公司/衡鹏集团

芯钛科半导体设备(上海)有限公司,成立于2018年,隶属于衡鹏企业集团,依托于集团20多年积累的丰厚实力,致力于制造高端智能设备,半导体领域的设备制造和技术研发。通过引进国外先进技术和自主研发,我们建立了具有自主知识产权的体系,为半导体制造商提供创新的技术和产品解决方案。产品有晶圆贴膜机,晶圆临时键合机,JEL Robot/Aligner ,EFEM/SORTER。
展位号:9号馆9A03
部分展品

EFEM
产品特点
两种上料端口,可兼容8英寸(通过SMIFPort/Loadport+Adapter),12英寸(通过Loadport)产品。
采用双臂拟似多轴功能机械手。材料符合RoHS规范,洁净度最高可达ISO Class 2。
多种传感器等监测元件,实时检测设备状态。即时摄像监控,各种条码、二维码、字符码识别,完整追踪生产过程。

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