
近日,48所与国内某头部企业签订超亿元MOCVD设备订单,并与国内头部砷化镓电池企业签订大规模MOCVD供货战略合作协议。

48所自研的MOCVD设备是一款专用于III-V族化合物半导体材料外延生长的关键装备,该设备以砷/磷材料体系为核心,可高效制备砷化镓、磷化铟等材料。该设备适用于光电激光器、射频器件、空间太阳电池等领域,为5G通信、人工智能和自动驾驶等新兴技术提供了核心材料制备平台。设备集成了在线监测、全自动传输等先进技术,在材料均匀性、界面陡峭度和掺杂精度等关键指标上均达到行业领先水平。
作为国内化合物半导体外延装备领域的领军企业,48所已成功推出SiC外延炉、MBE设备及MOCVD等系列化设备。2022年曾斩获国内龙头企业最大规模6英寸SiC外延炉设备订单,实现了国产外延高端装备重大突破。
此次MOCVD设备的最新突破,将进一步拓宽48所在半导体领域的业务范畴,更好助力国家半导体装备产业集聚区的建设。