展商推介 | 昊华气体诚邀您莅临2026湾芯展

昊华气体有限公司，隶属于世界 500 强企业——中国中化控股有限责任公司，是昊华化工科技集团股份有限公司（股票代码 600378）旗下的全资子公司。

是电子气体细分行业的龙头企业，集电子化学品和工业气体的研究开发、制造销售和进出口业务，以及工程科学技术研究、化工技术咨询和服务于一体的综合性、高新技术企业，产能业内位居前列。

本部设于洛阳，分子公司设于大连、自贡、武汉、成都、上海、深圳等地，现有职工 800 余人。

2024 年入选国资委首批专项培育工程，旨在发展新质生产力，推动电子化学品的国产替代，承接半导体行业高速发展的新格局。

■电子级三氟化氮是在制造半导体，液晶显示器，太阳能电池的化学气象积淀，(Chemical Vapor Deposition，简称CVD)工艺中，用于清除舱室内壁残留物的气体。

■电子级三氟化硼用于在硅或其它半导体材料的外延层中引入P型或N型掺杂，以控制半导体的电导性。主要用于半导体器件和集成电路生产的离子注入和掺杂。

■电子级六氟化钨主要用于电子工业中金属钨化学气象积淀工业（CVD）工艺，由它制成的硅化钨（WSi2）可用作大规模集成电路中的配线材料。此外，六氟化钨还用于制作半导体电极和导电浆糊等。

■电子级六氟丁二烯（C₄F₆或HFBD）主要用于半导体制造、集成电路蚀刻、平板显示等领域，尤其在3D NAND闪存等先进制程中发挥关键作用。作为环境友好型蚀刻气体，其温室效应潜值（GWP）低至290，大气寿命仅1.9天，符合国际环保公约要求。

■电子级氯化氢重要的半导体器件刻蚀气体及清洗气体，是12寸外延硅片制作工艺中所需的刻蚀气体。