展商推介 | 大族富创得诚邀您莅临2026湾芯展

上海大族富创得科技股份有限公司是一家高新科技企业、科技小巨人企业、“专精特新”企业，于2017年3月入驻上海市闵行区。全球员工超800人，共有八个子公司和研发中心，总占地面积约40000㎡。大族富创得自成立以来深耕于半导体自动化搬运领域的研发、生产和销售，拥有超过4年的技术积累和经验传承，致力于打造以半导体晶圆、光罩、基板自动化搬运系统及其核心组件的整体解决方案，具备全系列产品的客制化能力。

光罩片自动化传输/分拣系统

• 可与光罩设备搭配使用（MASK EFEM）或独立分拣使用（MASK sorter）

• 可实现全自动化载具更换，各种运输盒(Hoya、ShinEtsu、Nikon、Canon等)之间和RSP光罩盒（RSP150/RSP200/RSP EUV）之间转换

• 可客制化机械手搭配光罩片末端执行器,满足各种复杂的应用场景，包括reticle、mask、pellicle。

OHT（Overhead Hoist Transport）天车是半导体 AMHS（自动物料搬运系统）的核心设备，悬挂在洁净室天花板轨道上运行，通过升降机构直接抓取并运送 FOUP、晶圆盒或面板载具到各工艺机台，实现“Tool-to-Tool”全自动空中物流，系统由轨道、滑触供电、OHT小车、地面接驳以及调度软件组成，具有不占地、高洁净、高节拍、低振动等优势，可将机台等待时间缩短 30 % 以上。

晶圆装载传输系统包含大气寻边器，大气机械手和机缘装载系统。

晶圆传输机器人

• 真空传输系统核心组件均由富创得自主设计研发，并在自有生产基地组装生产,实现更好的交期与性能。

• 富创得深耕半导体传输领域四十余年，设备适配半导体前道工艺多数制程。所有量产设备均符合 SEMI标准,适配各种晶圆/掩膜等半导体/泛半导体物料工艺设备的工况需求。

• 真空传输系统可提供标准方案供制程设备进行对接,也可根据客户要求进行设备的客制化，软硬件均有成熟方案可供选择，满足不同的制程设备与实际工况的需求。

• 特有的无尘腔体,内循环可达Class 1等级净洁度,杜绝开盖过程污染晶圆:

• 模块化设计结合多样化客制选项,可适配在不做框架修改的情况下的不同设备;

• 灵活的PIO连接搭配自主研发的软件与宏指令,操作更便捷,易上手;

• 可选配AMHS通讯方式,满足多样化传输需求。