江苏海思半导体连发两机，第17台光刻设备出口欧洲

【区角快讯】10月16日，据快科技报道，江苏海思半导体科技有限公司（HISIGK）近日连续完成两台光刻机的出厂验收与发运工作。其中一台设备即将启程前往欧洲市场，这标志着该公司自2024年起向境外交付的光刻设备总数已攀升至17台。

早在10月12日，境外客户验收代表团便专程造访HISIGK洁净车间，对一台全自动光刻机实施出厂前的最终检验。依据双方既定协议，一旦通过验收，该设备即刻启动发运程序，将跨越八千公里抵达欧洲客户手中。次日，即10月13日，另一台专用于8英寸晶圆的全自动掩模对准光刻机亦完成调试并装车发运。值得注意的是，该机型搭载SMIF天车上料系统，主要服务于硅基Micro LED晶圆的图形化制程环节，旨在为新型显示产业提供关键装备支撑。其正面对准精度优于±0.5微米，且可选配背面对准模块，使背面对准精度优于±2微米。

光刻机作为半导体制造的核心装备，其成功出口充分印证了国产设备在技术成熟度与可靠性层面已达到国际标准。HISIGK核心团队深耕黄光区光刻工艺长达15年，产品谱系已从早期的1微米级接触式光刻机，演进至涵盖350纳米及500纳米分辨率的步进式投影光刻机。目前，HISIGK已在苏州相城与成都天府新区构建双生产基地，形成了覆盖2至12英寸晶圆的完整产品矩阵，应用领域广泛延伸至MEMS、化合物半导体、功率器件、3D封装以及AR与Micro LED等前沿板块。