3D FeNAND存储技术“报到”!

全球半导体观察 2026-10-20 20:26
3D FeNAND存储技术“报到”!图1


随着大规模AI模型的飞速发展,数据在存储器与处理器之间频繁搬运带来的高功耗和高延迟,正成为制约AI基础设施性能的核心瓶颈。


近日,半导体存储巨头SK海力士公布了其基于3D铁电NAND(3D FeNAND)实现模拟存内计算(Analog Compute-in-Memory,A-CiM)的最新研究成果,相关研究论文已在IEEE发表。该技术通过底层架构的全面协同优化,成功将NAND闪存的计算性能和能耗比推向了全新高度。


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目前商用的3D NAND主要采用电荷捕获(CTN)结构,这种结构难以精确区分模拟计算所需的多重电流水平。为此,SK海力士创新性地采用了基于氧化铪锆(HZO)的铁电材料,并聚焦于“单元(Cell)、非单元(Non-cell)及页面(Page)”三大层面的整体协同优化:


  • 单元层面:利用铁电材料的极化反转特性,在低功耗下实现了多级电流的平滑、精准控制,完美适配AI模型的乘加(MAC)运算需求。


  • 非单元层面:致力于降低字线(Word Line)的电阻和寄生电容,大幅减少了互连线路在状态反复切换时产生的能量损耗和延迟。


  • 页面层面:优化数据组织方式,使其与AI模型的计算顺序及数据大小高度对齐,有效消除了不必要的操作开销。


据SK海力士介绍,相较于传统的3D NAND阵列架构,SK海力士优化后的3D FeNAND架构显著提高了吞吐量和能效。在相同的芯片面积限制下,其吞吐量比传统3D阵列高出约10到20倍。更为瞩目的是,其能源效率实现了惊人的跨越,比传统3D阵列高出4000到5000倍。


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工艺验证层面,研发团队在300mm晶圆级别上成功验证了该技术在低电流区域的稳定运行,并实现了每单元四电平(Four-level-per-cell)的高精度控制。此外,在非单元线路优化测试中,通过引入低阻值金属互连材料,芯片的计算吞吐量进一步提升了16%,能效提升了3%。



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