EMPIR项目使世界上第一个自给自足的便携式露点霜点校准器得以推出更高性能的基于光学的方法为湿度测量供应链服务

来源：EURAMET新闻

微量水是氩气、氮气和氢气等超高纯度工艺气体中最大的单一基质污染物。它的存在会影响使用这些气体的产品的质量。尽管超高纯度气体的生产服务于许多关键技术领域，如高价值半导体制造和制药，但在该项目工作之前，相关范围和基质气体的痕量水测量仍然缺乏计量溯源性。

最近完成的EMPIR项目“超纯工艺气体中痕量水的计量”（20IND06，PROMETH2O）致力于填补计量溯源性方面的知识空白。该联盟开发了可追溯和改进的光学测量方法，用于生产纯工艺气体，用于检测十亿分之几的痕量水污染。

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该项目的研究使项目合作伙伴Qrometric能够以前所未有的精度验证其霜点发生器，霜点温度低至-100°C，这是以前任何商用便携式校准器都无法覆盖的温度范围。霜点发生器系统是世界上第一个独立的便携式露点/霜点校准器，可在现场提供测量溯源性。

仪器首次可用于湿度传感器和分析仪的精确现场校准。该仪器的验证温度测量范围为-100°C至0°C，精度在0.5°C至0.05°C之间，能够在低于大多数主要校准标准的温度下进行测量。

这一进展将改进痕量水测量，这将有助于减少欧洲战略部门的废物，如微电子工业和能源气体，并为药品提供更好的生产环境。

.INRIM的项目协调员Vito Fernicola说：“PROMETH2O项目成功地解决了超高纯气体中痕量水污染计量溯源性方面的一个关键差距。通过开发经过验证的方法并支持QROMETRIC LFPG的推出，该项目实现了湿度传感器的精确现场校准，确保了低至-100°C霜点的可靠和可追溯的测量。