佳能开设首家芯片制造设备工厂

半导体行业圈 2025-08-01 20:58

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半导体行业圈 振兴国产半导体产业!



佳能7月30日开设了其21年来首家芯片制造设备工厂,希望借人工智能(AI)热潮,抢占光刻机市场。 新工厂是佳能位于东京北部城市宇都宫生产中心的扩建部分,将于9月开始生产半导体光刻系统。该工厂的投资额为500亿日元(约合3.36亿美元),包括建筑和设备。新工厂占地67518平方米,将使产能提升50%。 
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佳能董事长兼CEO Fujio Mitarai表示:“新工厂生产的设备汇集了佳能所有的技术实力。它将在支持全球产业发展方面发挥关键作用。”光刻机是芯片制造工艺的核心,用于在晶圆上形成精细电路图案的前端工序。一般来说,线宽越小,半导体性能越高。 
荷兰制造商ASML是光刻设备领域的龙头企业,占据全球90%的市场份额,它是极紫外(EUV)光刻系统的唯一供应商,该系统能够以最精细的线宽蚀刻电路。日本厂商佳能和尼康在21世纪之前一直主导着全球光刻市场,但在微型化竞争中,这两家公司败给了ASML。ASML正在向需要尖端技术的前端工艺投入资源。 
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佳能的新工厂将生产i-line和氟化氪光刻机设备,这些是用于制造成熟节点半导体的成熟技术。佳能工厂还将生产纳米压印设备,这是下一代光刻系统,可以像印章一样将精细的电路图案压印到基板上。但目前,该工厂将主要生产成熟设备。 
佳能重新关注成熟设备的原因在于生成式AI的热潮。AI半导体需要更高的计算能力,但电路的微型化正接近极限。作为替代方案,芯片制造商已开始将多个半导体(例如处理器和内存)组合成单个模块。这种半导体的捆绑工艺属于后端工艺,通常与光刻工艺无关。但为了连接多个半导体,必须形成新的“中介层”来连接芯片和基板。 
佳能发现,其之前用于前端的光刻设备可以用来形成中介层布线。佳能很早就意识到了电路微型化的局限性,并于2011年率先推出用于后端工艺的光刻设备。佳能高级常务董事Hiroaki Takeishi表示,后端设备目前占总销量的30%,“佳能几乎拥有所有主要半导体制造商用于后端工艺的光刻设备。”佳能将根据客户的反馈不断改进产品,目标是2025年销售225台半导体光刻设备,同比增长9%。2015年至2020年期间,年均销售量约为90台。 
全球晶圆代工龙头台积电的后端产品依赖于佳能产品。尽管佳能在这些工艺上占据主导地位,但该公司将面临竞争对手尼康,后者将于明年进入同一领域。
来源:集微网




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