近日,据“中电二公司”消息,中国蚌埠传感谷8英寸MEMS晶圆生产线EPC项目首批产品成功下线,标志着全国首条8英寸MEMS晶圆全自动生产线、全国首条工艺设备配套齐全的压电MEMS量产线正式投产。
资料显示,该项目由安徽华鑫微纳集成电路有限公司投资建设,位于中国传感谷,建设投资达50.6亿元,是国家级重点项目,主要致力于生产研发涉及工业农业和医疗车载电子,以及航天航空等领域的传感器的芯片。
华鑫微纳8英寸MEMS晶圆生产线定位为国内领先的8英寸MEMS晶圆代工企业以及国内领先的“开放式、定制化MEMS代工平台基地”。全部建成投产后,将具备月产3万片晶圆的能力,成为国内产出最大的MEMS全自动晶圆生产线。
据了解,安徽华鑫微纳集成电路有限公司主要从事MEMS晶圆制造,可加工产品涵盖惯性传感器、压力传感器、光MEMS器件等,主要应用于高端装备、汽车电子等领域。
近年来,安徽省委、省政府高度重视,大力支持蚌埠智能传感器产业发展,印发的《安徽省加快推动“人工智能+”行动方案》提出发展智能传感器相关任务,2025年省政府工作报告明确“高质量建设中国声谷、视谷、传感谷”。
作为安徽人工智能产业“三谷”之一,近年来,蚌埠市以中国传感谷为核心载体,加快推动智能传感器产业从小到大、从弱到强。据“蚌埠发布”介绍,目前,中国传感谷已成功入选2024年度全国十大MEMS特色产业园区,谷内集聚了200余家相关企业,成为长三角智能传感产业版图中的“关键拼图”。