设备已应用于12寸线先进制程芯片制造工厂的光刻工艺。 作者 | ZeR0 编辑 | 漠影 芯东西12月26日报道，12月25日，证监会官网显示，上海半导体气体纯化产品制造商先普科技在上海证监局办理上市辅导备案登记，启动A股IPO进程，辅导机构为国泰海通。 先普科技成立于2018年6月，注册资本为8000万元，法定代表人、控股股东江晓松直接持股58.70%。 今年9月，先普科技在新三板挂牌的申请获受理，该申请目前仍处于审核过程中。 根据企业信用查询平台企查查，华为旗下哈勃科技、中芯国际间接持股的聚源绍兴创投基金、华虹集团旗下华虹虹芯私募基金，均是先普的股东。 ▲先普科技前十位股东及持股情况（图源：企查查） 根据官方公众号，先普科技由美国归国留学生江晓松博士创立，聚焦气体微污染控制这一细分赛道，为半导体行业提供ppt级气体微污染控制解决方案。 先普的XCDA和CO2纯化器和纯化设备，已成功应用于若干12寸线先进制程的大型半导体芯片制造工厂的光刻工艺。先普的大宗气体（N2, H2, O2, Ar, He, CDA）气体纯化设备，已持续不断地向12寸、8寸半导体芯片工厂和化合物半导体工厂交付和投用。 其POU纯化器和过滤器，已广泛应用和配套于众多半导体芯片工厂的工艺设备，如外延、CVD、MOCVD等。 今年11月，先普科技入选工信部第七批国家级专精特新“小巨人”企业名单。
