蔚华电子:TGV激光诱导孔、刻蚀孔与金属化之非破坏性检测

艾邦半导体网 2026-02-06 18:01

随着高速运算、高频通讯、AI加速器及高效能服务器等应用快速推进,TGV技术成为先进封装关键工艺,具备低介电常数、优异热稳定性及高密度I/O整合能力,应用于玻璃芯(Glass Core)与2.5D/3D中介层(Interposer)等高阶封装结构,产业应用热度居高不下,发展潜力庞大,但TGV前段制程中的激光改质质量长期无法实时掌握,成为良率与成本控制的挑战,尤其是改变不同高低价位的玻璃材质时。

业界首创!蔚华激光断层扫描技术让TGV激光改质孔质量无所遁形 助攻TGV量产时程

蔚华科技推出业界首创「蔚华激光断层扫描(SpiroxLTS)」技术,结合多项专利非线性光学组合技术,非破坏性、零接触、零损伤地直接观测TGV玻璃内激光改质断层图,可精准解析激光改质成效,完整揭示改质连贯性与均匀度,确保制程质量符合设计要求,为TGV制程参数控制带来革命性突破,将有助于TGV业者加速量产时程。

蔚华电子:TGV激光诱导孔、刻蚀孔与金属化之非破坏性检测图2

断层图能沿着垂直深度观察裂痕长度变化

公司介绍

蔚华科技(股票代码:3055)是大中华地区测试、封装、检测、验证的专业品牌,为半导体与电子制造产业提供高质量、高可靠度的设备与服务,旗下自有品牌设备与经销代理品牌横跨封测、光学、激光与材料检测多领域,致力于提供前瞻技术与高附加价值服务。蔚华科技成立于1987年,总部设于新竹,并于上海、苏州与深圳设有营运与服务据点。

蔚华电子:TGV激光诱导孔、刻蚀孔与金属化之非破坏性检测图3

2026年3月19-20日,艾邦将在苏州日航酒店举办第三届玻璃基板TGV暨板级封装产业链高峰论坛,届时蔚华电子科技(上海)有限公司 执行长  杨燿州将分享TGV激光诱导孔、刻蚀孔与金属化之非破坏性检测主题,欢迎大家积极参与!

本主题将介绍蔚华独家专利蔚华激光断层扫描技术(SpiroxLTS®),如何通过前瞻非线性光學量测,精准掌控激光诱导与玻璃匹配度!

蔚华激光断层扫描技术以非破坏性检测,透过解析激光诱导断层图,精确控管激光诱导成效,大幅降低制程成本,优化生产条件!从激光诱导阶段进行诱导光斑及均匀性检验、蚀刻成孔阶段检测腰身位置与孔壁粗糙度,到金属化阶段进行金属化与CMP后镀铜孔壁玻璃裂纹检验,皆为目前TGV业界难以找到的检测解方。

蔚华电子:TGV激光诱导孔、刻蚀孔与金属化之非破坏性检测图4
艾邦建有玻璃基板与TGV技术交流群,可以加强产业链的合作,促成各企业的需求对接,同时您也可以与行业精英共同探讨玻璃基板及TGV技术的前沿动态,共享资源,交流经验,欢迎您的加入。

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