俄罗斯光刻机破冰!已搞定自研350nm光刻机

52RD 2026-03-19 18:47

  3月19日消息,据报道,在西方国家严苛的出口管制下,俄罗斯在半导体自主化道路上迈出关键一步。

  俄罗斯国家工业信息系统(GISP)最新目录显示,由泽列诺格勒纳米技术中心(ZNTC)自主研发的新型光刻系统已正式纳入国家工业设备名录。

  这也意味着俄罗斯在构建独立半导体制造生态系统、打破西方技术封锁上,迈出了从实验室研发到工业化部署的实质性一步。

  该设备是一款对准和投影曝光装置,核心指标为350纳米(0.35微米)分辨率,采用365纳米波长i线紫外光源,可处理200毫米标准晶圆,对准精度达90纳米。

  虽然这一制程节点与全球最尖端的3纳米工艺存在代差,但在工业体系中依然具有极高的实用价值,具备量产工业级芯片能力,可应用于电源管理、汽车电子、航空航天控制及嵌入式系统等领域。

  GISP目录收录不仅是行政程序,更为国产设备打开国内市场通道,根据俄罗斯国家战略,政府及国企采购将优先选择名录内产品。

  业界分析指出,现代工业对350纳米等成熟制程芯片需求稳定且庞大,汽车功率器件、工业机器人控制芯片、导弹制导系统抗辐射元件等均无需极致微缩化,更看重可靠性与供应稳定性,这台设备恰好填补了俄罗斯在成熟制程供应链上的空白。

俄罗斯光刻机破冰!已搞定自研350nm光刻机图1
本文由作者原创,52RD转载是为分享该信息或观点,不能代表对观点的支持,如果有任何异议,欢迎联系我们。

声明:内容取材于网络,仅代表作者观点,如有内容违规问题,请联系处理。 
光刻
more
国产DUV光刻系统关键突破:激埃特光电助力3nm工艺攻关
ASML EUV光刻机实现纳米孔全晶圆级制造
芯片巨头,将豪装近20台EUV光刻机!
美国投行:落后ASML20年,中国光刻机止步65nm,还有很长的路要走
上海微电子中标1.1亿元光刻机项目
ASML前CEO:中国在光刻机领域确实取得了不错的成果,这些进展都在我们的预期之内,他们的水平等同于ASML二十年前的阶段
日本媒体:光刻胶、抛光液、电子特气三大命门在手,中国芯片产业注定绕不开日本
台湾评论员:一旦中国掌握先进光刻机,ASML会像,美国扫地机器人一样被扫地出门
IBM与泛林集团达成五年合作,攻坚1纳米以下逻辑芯片与高数值孔径极紫外光刻技术
韩国加快EUV光刻机进口
Copyright © 2025 成都区角科技有限公司
蜀ICP备2025143415号-1
  
川公网安备51015602001305号